![]() |
邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
![](/NewShowStand/style/14/Images/Blue/中級會員.png)
聯(lián)系電話
![]() |
邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話
勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 型號:WS-650Mz-23NPP 一、產(chǎn)品概述: 二、勻膠機(jī)工作原理: 三、勻膠機(jī)主要性能指標(biāo): 2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤); 3、轉(zhuǎn)動速度:0-12,000rpm, 4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載); 5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%; 6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm; 7、工藝時間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度; 8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方; 9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。 10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài); 11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!] 13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件; 14、*水平測試儀; 可選配置: IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計,帶遠(yuǎn)程控制; OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計,帶遠(yuǎn)程控制; UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒, EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機(jī)械裝置; |
http://www.mycrohk。。com/spinprocessor