 |
邁可諾技術有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
12
聯(lián)系電話
|
邁可諾技術有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
聯(lián)系電話
型號：650Mz-23NPP/OND 一、產(chǎn)品概述： 二、勻膠機工作原理： |
三、勻膠機主要性能指標：
1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤）； 3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空載）； 5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 < ±1%； 6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：<0.2rpm，重復性< 0.2rpm； |
7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；
8、勻膠機材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；
9、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%。 10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài)； 11、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！] 13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件； 14、*水平測試儀； 15、兩袋密封圈； |
16、廢液接收單元；
17、OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設計，帶遠程控制；
可選配置： IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設計，帶遠程控制； OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設計，帶遠程控制； UD自動滴膠裝置：UD-2帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒， |
EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊，機械裝置；
