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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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其中，NXQ4000系列光刻機(jī)是半自動(dòng)系統(tǒng)為主，NXQ8000系列光刻機(jī)則是全自動(dòng)系統(tǒng)為主，而Refurbished Mask Aligners則是手動(dòng)/自動(dòng)系統(tǒng)。以下是關(guān)于NXQ8000系列光刻機(jī)的介紹:
應(yīng)用領(lǐng)域：
◆ LED
◆ MEMS
◆ IC
◆ Mircro-optics
主要特點(diǎn)：
◆ 接近/軟（硬）接觸/真空接觸曝光；
◆ 支持2”~8”晶圓，支持碎片對(duì)準(zhǔn)；
◆ 自動(dòng)/手動(dòng)運(yùn)行模式；
◆ 光學(xué)背面對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)（OBS）；
◆ 紅外背面對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)（IR）；
◆ 高精度光學(xué)式或CCD式正面對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；
◆ 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)識(shí)別系統(tǒng)（使用任意標(biāo)記）；
◆ 工藝操作程序網(wǎng)絡(luò)化設(shè)置與管理；
◆ 自動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)（用于晶圓自動(dòng)裝載型）；
◆ 快速方便地更換適用不同尺寸的晶圓夾具（2”~8”）；
◆ XP 操作界面;
◆ 支持200W ~ 2kW, NUV，UV or DUV;
◆ 高靈敏度光強(qiáng)可控電源。
需要更詳細(xì)的NXQ8000系列全自動(dòng)光刻機(jī)產(chǎn)品資料，
請(qǐng)與邁可諾技術(shù)有限公司中國(guó)營(yíng)銷服務(wù)中心區(qū)域辦公室!
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