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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| MYCRO的SCE-110系列感應(yīng)耦合（ICP）等離子體系統(tǒng)是用于等離子體灰化工藝的zui有效儀器。SCE-110等離子灰化機(jī)用于殘留無機(jī)物的掃描電鏡（SEM）和或化學(xué)分析之前的有機(jī)物去除。適用設(shè)備如：SCE-104, 106, 108。 SCE-110電感耦合等離子刻蝕機(jī)參數(shù)： 控制系統(tǒng) • 觸摸屏界面； • 電源、真空、流量及時(shí)間的數(shù)碼顯示； • 氣體流量控制器（2） 500-sccm； • 多菜單-工藝程序； • 密碼保護(hù) • 真空系統(tǒng)和電源安全連鎖裝置； • 120-VAC, 50/60-Hz, 20-Amp 控制系統(tǒng)選配件 • 多路處理氣體通道（多達(dá)3路）； • 電容壓力計(jì)； • 溫度感應(yīng)器； • 節(jié)流閥； • 氮?dú)饣靥睿?/span> RF射頻電源 • 0-600 Watt, 13.56 MHz • 正向（傳輸）和反射功率讀數(shù)； • 3%功率調(diào)節(jié)； • 自動(dòng)射頻調(diào)配負(fù)載匹配； 石英反應(yīng)艙 • 10英寸直徑，深18英寸； • 前端裝載式放樣； • 觀測(cè)門裝配觀測(cè)口，防止紫外輻射； 反應(yīng)平面電極 • 石英托盤或軌道，（達(dá)3個(gè)托盤） 尺寸 • 系統(tǒng)包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的19英寸半支架； • 36"H x 21"W x 30"D 需要更詳細(xì)的ICP電感耦合等離子刻蝕機(jī)的信息 請(qǐng)與邁可諾技術(shù)有限公司 中國(guó)營(yíng)銷服務(wù)中心 ： （北京）（上海） （廣州）（武漢） : Website: http://www.mycrohk。。ｃｏｍ |
