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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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UNIXX系列手動控制加熱臺HT20P
可處理基片達(dá)200 mm / 8英寸
手動控制單面烘烤系統(tǒng)
單面烘烤系統(tǒng)
可選項，還提供溫度高達(dá)600°C的加熱板
UNIXX系列手動控制加熱臺HT20P溫度模塊設(shè)計用于單面烘烤用于烘烤前和烘烤后的基材。帶有氣動升降銷的烘焙模塊配有一個手動PID控制器和計時器開關(guān)。 經(jīng)過微處理（PID）控制器用于高測量溫度控制準(zhǔn)確性。 確定過程的設(shè)定值和參數(shù)用5場塑料薄膜鍵盤調(diào)節(jié)。可自由編程的定時開關(guān)有兩個可調(diào)派生計時器和兩個省略計時器。 與各種參數(shù)的可能性，兩個輸出觸點和兩個切換輸入將允許使用任何一種應(yīng)用程序可以使用的。 計時器可以使用前按鈕和開關(guān)輸入。
特點：
溫度模塊（氣動）
加熱板系統(tǒng)帶有氣動升降頂針
加熱板模塊（Z高300°C）
氣動頂針
標(biāo)準(zhǔn)的頂針由不銹鋼和PEEK制成（Z高250°C）
加熱板表面上的真空管道用于固定基板
手動控制加熱板的頂蓋
集成式排氣
手動控制器單元：
• 1個PID 控制器，用于在高測量時進(jìn)行溫度控制。通過調(diào)節(jié)薄膜鍵盤的5個鍵來設(shè)定關(guān)鍵參數(shù)。
• 1個計時器開關(guān)，帶有兩個可調(diào)微分計時器和兩個延時計時器，并可以設(shè)置各種參數(shù)。
可以使用前按鈕和開關(guān)輸入來啟動和停止計時器。
產(chǎn)品參數(shù)：
基板尺寸：大直徑200毫米（直徑8英寸）圓片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；
溫度范圍：Z高300°C *，以1°C/步可調(diào)；
溫度精度：在100°C時<士1°C；
升降針(1套）：直徑50 mm（直徑2英寸）到直徑200 mm（直徑8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；
加熱臺表面：由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；
加熱臺頂蓋：由微拋光不銹鋼制成；
加熱臺外殼：由PP制成；
控制器單元：1個PID控制器，1個計時器；
電壓：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫茲；
CDA：8 bar，管外徑6 mm；
真空：-0.8 bar / -600bar，管外徑6 mm；
排氣爐：1 x 外徑 40毫米，80立方米/小時；
主營產(chǎn)品：
Laurell勻膠機(jī)
Harrick等離子清洗機(jī)
Thetametrisis膜厚儀
Microxact探針臺
ALD原子層沉積系統(tǒng)
TRION反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻機(jī)
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)
Nilt納米壓印機(jī)
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板
Annealsys高溫退火爐
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)
Wabash/Carver自動壓片機(jī)
