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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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光譜橢偏儀帶自動(dòng)監(jiān)測(cè)
橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學(xué)技術(shù)，用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入層。對(duì)于常規(guī)和晶圓廠加工質(zhì)量控制，必須有一個(gè)自動(dòng)盒式裝卸機(jī)。為此，我們開發(fā)了一種低成本解決方案，可將晶圓尺寸從2“擴(kuò)展到8”（臺(tái)式），將塔式尺寸擴(kuò)展到12“。用戶甚至可以為每個(gè)插槽定義配方，從而為整個(gè)盒式磁帶測(cè)量定義配方。
應(yīng)用范圍：
半導(dǎo)體制造（PR，氧化物，氮化物..）
液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）
光學(xué)涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..
半導(dǎo)體化合物
MEMS / MOEMS中的功能膜
非晶，納米和晶體硅
光伏薄膜，CdTe，CdS，CIGS，AZO，CZTS .....
特征：
水平樣品放置
價(jià)格合理，成本低廉，設(shè)計(jì)緊湊
易于與基于Windows的軟件一起使用；高級(jí)用戶的科學(xué)模式，日常操作員模式
可變?nèi)肷浣牵脩艨啥x分辨率
全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和模型配方
*TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表，色散或EMA混合物/復(fù)合材料的層以及索引等級(jí)以及表面/界面粗糙度...
可通過(guò)各種選件和附件進(jìn)行升級(jí)和重新配置
晶圓厚度：200µm至1mm（弓形<1.5mm，無(wú)翹曲）
前載紙盒
帶有傳感器的高速電梯
包括盒式磁帶映射器（檢測(cè)空插槽和交叉開槽的晶圓）
包含臺(tái)載傳感器
包含用于平板或槽口的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
EMO緊急關(guān)機(jī)開關(guān)
中心觸點(diǎn)末端執(zhí)行器與橢圓偏振儀工具上的晶片支架匹配
兼容潔凈室
易于使用的可調(diào)節(jié)水平腳，并牢固橋接至橢圓儀框架
緊湊的設(shè)計(jì)，所有電子設(shè)備內(nèi)置在裝載機(jī)中
通用電源輸入
通過(guò)USB與計(jì)算機(jī)通信，與Ellipsometer共享一臺(tái)計(jì)算機(jī)和顯示器
升級(jí)的TFProbe SW具有集成的晶圓處理功能，易于操作
特殊設(shè)計(jì)的帶有真空吸盤的新型晶圓支架，可將晶圓固定在適當(dāng)位置
系統(tǒng)配置：
根據(jù)不同的應(yīng)用，光譜橢偏儀可以配置SE200BM，SE300BM和SE500BM或其他型號(hào)。
總重量：300磅
尺寸：60英寸（長(zhǎng)）x 35英寸（長(zhǎng)）x 35英寸（高）
電源：通用輸入100-240 VAC，6A，50-60 H
真空源：小70 kPa（21 Hg），帶有1/4英寸的供氣管
