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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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特征
•提高附著力
•降低涂層應(yīng)力
•高縱橫比成像
•垂直側(cè)壁
•單層涂膜厚度大于100mm
•出色的抗干蝕刻性
SU-8 3000抗蝕劑經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，可與MicroChem的SU-8顯影劑一起用于浸漬，噴涂或噴漿工藝。 也可以使用其他基于溶劑的顯影劑，例如乳酸乙酯和雙丙酮醇。 對于高縱橫比和/或厚膜結(jié)構(gòu)，也建議強(qiáng)烈攪拌。 表6中給出了浸入過程的建議顯影時間。這些顯影時間是近似的，因?yàn)閷?shí)際溶解速度會隨著攪拌而變化很大。
SU-8 3000具有良好的機(jī)械性能。 但是，對于要保留成像的抗蝕劑作為終設(shè)備一部分的應(yīng)用，可以在加熱板上或?qū)α骺鞠渲性?50-200°C之間將抗蝕劑進(jìn)行坡道/分步硬烘烤，以進(jìn)一步使材料交聯(lián)。 烘烤時間根據(jù)烘烤過程的類型和膜厚的不同而不同。
