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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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集成的激光切割系統(tǒng)可用于通過激光燒蝕接觸引線，犧牲層和其他材料來改變集成電路上的導(dǎo)體，而不會(huì)損壞設(shè)計(jì)內(nèi)部構(gòu)件。這種激光微調(diào)工藝允許選擇性地去除層，例如去除頂層，并且可以有助于半導(dǎo)體失效分析或微調(diào)器件特性，例如電阻，電容或RF特性。MicroXact的激光切割系統(tǒng)還能夠通過切斷將故障組件連接到電路其余部分的金屬線來隔離故障組件。預(yù)構(gòu)建邏輯包括自動(dòng)識(shí)別晶片上的故障器件并通過燒蝕從晶片上*擦除這些器件。
LCS-4000提供電動(dòng)，半自動(dòng)或全自動(dòng)配置系統(tǒng)，可通過各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)和附件輕松配置用于各種應(yīng)用。
設(shè)計(jì)用于同時(shí)進(jìn)行DC和/或RF探測，同時(shí)激光微調(diào)引導(dǎo)或消除設(shè)備中的缺陷。
*電動(dòng)系統(tǒng)允許用戶獨(dú)立遠(yuǎn)程定位樣品臺(tái)，壓板和顯微鏡，同時(shí)系統(tǒng)*包含在不透光的外殼中，以便系統(tǒng)安全，輕松地操作。
標(biāo)準(zhǔn)配置包括獨(dú)立的100 mm x 100 mm運(yùn)動(dòng)范圍，適用于樣品臺(tái)和顯微鏡（可提供更大的范圍）。
多軸雙操縱桿控制器可輕松操作所有運(yùn)動(dòng)組件，并可定制以包含各種附加功能。
可以升級系統(tǒng)以包括晶片探測的半自動(dòng)控制。
位于工作站兩側(cè)的隔離直通端子可方便地連接到微定位器，可針對BNC，三軸或DC引腳連接進(jìn)行定制。
型號 | LCS-4000 |
晶圓尺寸 | 高達(dá)100mm（可提供更大尺寸） |
XY舞臺(tái)行程 | 高達(dá)100mm x 100mm（可提供更大的范圍） |
XY舞臺(tái)分辨率 | 電動(dòng)，有多種選擇 |
壓板行程 | 12.7mm或更多 |
壓板調(diào)整 | 雙粗和精控制 |
平板平面 | 150mm以下<12.7μm |
