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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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特色：
• 體積小巧，容易存放，桌面型
• 輕微復(fù)制微米和納米級(jí)結(jié)構(gòu)
• 熱壓印溫度高達(dá)200°C
• 可選的高溫模塊，適用于240°C
• UV 納米壓印，365nm曝光
• 真空納米壓?。ㄇ皇铱沙檎婵罩?/span>0.1毫巴）
• 納米壓印壓力高達(dá)10巴
• 溫度分布均勻、讀數(shù)精準(zhǔn)
• 筆記本電腦全自動(dòng)控制，工藝配方編輯簡單，*靈活控制，自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)
• 直徑大100毫米（圓形）腔室
• 腔室高度為20毫米，可擴(kuò)展至45毫米
• 即插即用
• 使用簡單直觀
• 專為研發(fā)而設(shè)計(jì)
• 提供安裝和操作教程視頻
應(yīng)用：在過去五年中，石墨烯的氣體傳感器引起了極大的興趣，顯示出單分子檢測(cè)。
近的研究表明，與非圖案化層相比，石墨烯的圖案化強(qiáng)烈地增加了靈敏度。
通過標(biāo)準(zhǔn)程序生長CVD石墨烯，然后轉(zhuǎn)移到Si / SiO 2基板上進(jìn)行進(jìn)一步處理。 如（Mackenzie，2D Materials）中所述，使用物理陰影掩模和激光燒蝕來定義接觸和器件區(qū)域。
使用軟壓印在CNI v2.0中進(jìn)行熱納米壓印光刻。 將mr-I7010E壓印抗蝕劑在130℃，6巴壓力下壓印10分鐘。 壓力在70℃下釋放。
通過反應(yīng)離子蝕刻將邊緣到邊緣間隔為120-150nm的大面積圖案的孔轉(zhuǎn)移到石墨烯中，并且用丙酮除去殘留的抗蝕劑。
發(fā)現(xiàn)器件具有大約的載流子遷移率發(fā)現(xiàn)器件在加工前具有約2000cm2 / Vs的載流子遷移率，之后具有400cm2 / Vs的載流子遷移率處理，同時(shí)保持整體低摻雜水平。
