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邁可諾技術有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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勻膠機產(chǎn)品特點:
1、穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快 速啟動，可保證膠厚度的一 致性和均勻性；
2、轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)穩(wěn)定，美國國家標準 技 術研究院（NIST）認 證過；
3、采用PLC控制，速度可調(diào)節(jié)，在啟動之后一般工藝先以低速運轉(zhuǎn)使膠攤開，然后自動變到高速運轉(zhuǎn)，步驟轉(zhuǎn)速及相應的時間分別可調(diào)；
4、數(shù)據(jù)模擬：勻膠實驗時將一組設定的涂膠速度和時長數(shù)值輸入系統(tǒng)，系統(tǒng)會據(jù)此計算出速度設定方案，帶有速度隨 時間變化的曲 線；
5、數(shù)據(jù)記錄：為了提 高實驗的可重復性，設備會在數(shù)據(jù)記錄模式下，實時記錄下前一 次工藝過程的實驗實際值，并將該組數(shù)據(jù)存儲并重復調(diào)用，達到近乎一 致的可重復性；
6、NPP材質(zhì)耐腐蝕及抗震；
一、勻膠機性能指標：
1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm；
3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm，
4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空載）；
5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差<±1 %；
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：<0.2rpm，重復性< 0.2rpm；
7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、勻膠機材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；
9、高精 度數(shù)碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%。
10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài)；
11、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標準技 術研究院（NIST）認 證過的，并且不用再校準！]
12、配套真空泵系統(tǒng)：無 油型 220~240伏交流，50/60赫茲；
13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；
14、原裝進 口水平測試儀；
應用領域：
鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells
有機太陽電池
OPV有機光伏
OLED有機發(fā)光二 極管
OFET & TFT有機場效應晶體管&薄膜晶體管
Graphene &2D石墨烯&二維材料
Substrates襯底
Materials材料
