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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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系統(tǒng)的技術(shù)描述
Heron 80是一款大尺寸獨(dú)立等離子系統(tǒng)，專為表面清潔，改裝和激活而設(shè)計(jì)。 它可以在不同的材料上運(yùn)行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。 下面描述的特性使Heron 80成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡(jiǎn)單通用解決方案。
主機(jī)由不銹鋼制成，帶有可拆卸的后面板和側(cè)面板，便于維護(hù)或故障排除。 外部裝飾是“輕刷”。它也可以安裝在帶有“穿墻”配置的潔凈室中。
Heron 80的控制系統(tǒng)基于配備觸摸屏HMI操作面板的*PLC。 由于用戶友好的圖形界面，可以直接操作系統(tǒng)組件或讓PLC根據(jù)用戶可編輯的配方執(zhí)行過(guò)程。 PLC具有快速掃描時(shí)間，可連續(xù)測(cè)量所有系統(tǒng)參數(shù)，以確保均勻可靠的過(guò)程。 無(wú)法避免的手動(dòng)處理是裝載/卸載樣品的步驟。
Heron 80是等離子體反應(yīng)器[1]電容耦合并且包括圓柱形處理室，其內(nèi)部具有幾個(gè)同心籠電極。
他的處理室由鋁制成。 由于表面上形成了天然的氧化鋁，鋁可以在許多工藝氣體（包括氟化蝕刻氣體）的存在下使用，這一特性使這些反應(yīng)器適用于大多數(shù)反應(yīng)等離子體環(huán)境（即蝕刻，灰化...）。 沒(méi)有焊接可確保更好的密封，從而防止過(guò)程中的外部污染
產(chǎn)品特點(diǎn)
?成本低
?觸摸屏顯示提供實(shí)時(shí)的所有主要信息，出色的過(guò)程控制和快速分析
?能夠處理多達(dá)十種不同的可編輯配方
?*結(jié)果的*性
?數(shù)據(jù)記錄功能，頻率<0.5 Hz，用于過(guò)程的歷史條件
?出色的過(guò)程控制和長(zhǎng)期可靠性和穩(wěn)定性
?使用的主要品牌組件，如真空計(jì)和質(zhì)量流量控制器（MKS儀器）
?射頻功率可在1W至600W范圍內(nèi)調(diào)節(jié)
技術(shù)規(guī)格
尺寸 寬 x 長(zhǎng) x 高 700 x 600 x 1750 mm
凈重 130 Kg （不含真空泵）
凈空 右，左，前 - 600mm，后 - 254mm
