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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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1、 勻膠機工作原理： 勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。 2、勻膠機型號及技術(shù)參數(shù)如下：
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三、勻膠機的特點：
1、該勻膠機采用德國*技術(shù)：
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
3、勻膠機真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調(diào)壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。
