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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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更新時(shí)間：2024-05-17 12:57:04瀏覽次數(shù)：975
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣 |
|---|---|---|---|
| 名稱(chēng) | 退火爐 | 型號(hào) | ?RTP500V-mini/RTP600V |
目前在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中，科學(xué)家試圖利用極微量的氧氣對(duì)薄膜表面進(jìn)行去毛刺工藝，如果氧氣量過(guò)大，將可能把整個(gè)薄膜“吃掉"，氧氣量小但不穩(wěn)定，則影響到成品的品質(zhì)和重復(fù)性。這對(duì)RTP在微量氣體的混氣控制上提出了極大的挑戰(zhàn)。
實(shí)現(xiàn)常壓下千分之一的氣體分壓。即反應(yīng)氣體和保護(hù)氣氛的常壓配比為1比1000。一般實(shí)現(xiàn)氣體配比的方法是使用質(zhì)量流量控制器（MFC），對(duì)兩種氣體的流量進(jìn)行精確控制，例如配比為3：2時(shí)，兩個(gè)質(zhì)量流量計(jì)的流量分別調(diào)整為600sccm和400sccm，這時(shí)氣體配比就可以實(shí)現(xiàn)3：2的配比。
但是，當(dāng)兩種氣體的配比非常懸殊的時(shí)候，就產(chǎn)生兩個(gè)問(wèn)題，首先是大量程MFC的誤差絕對(duì)值超過(guò)了小量程氣體MFC本身的量，使得配比的重復(fù)性和精確度變差。即使使用進(jìn)口的MFC也不能幸免。其次，由于一方氣體流量過(guò)小，會(huì)使流量大的一方的氣體阻止或倒灌到流量小的氣路中，從而無(wú)法保證反應(yīng)氣體進(jìn)入反應(yīng)室內(nèi)。
北京東之星應(yīng)用物理研究所首先采用精確的壓力控制使壓力與流量有效的配合，同時(shí)委托MFC廠(chǎng)家以東之星*的送氣控制方式定制了MFC。從而有效的防止了大配比氣體（一般是氮?dú)猓┑牡构嗪妥枞?。才?shí)現(xiàn)了高精確度的千分之一氣體配比。
