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•旋轉(zhuǎn)沖洗干燥機用于沖洗和干燥直徑大為12英寸的圓形或大7英寸方形的基材；
•可提供滿足您特定要求的標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)子和定制轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子可以輕松快速地更換；
•處理腔室上的儲罐加熱。處理腔室由電拋光不銹鋼制成。包含氮氣加熱；
正面的主開關(guān)，機械門鎖，PLC彩色觸摸屏和無刷伺服電機是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的一部分。

旋轉(zhuǎn)沖洗干燥機優(yōu)勢：

• 處理腔室加熱，安全緊急停止；
• 氮氣加熱，安全緊急停止；
• *從正面操作；
• 安全可靠的伺服電機，EN954-1，類別3；

選配件：

電導(dǎo)率測量

抗靜電設(shè)備

主營產(chǎn)品：

Laurell勻膠機     

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀  

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應(yīng)離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機       

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)     

Wabash/Carver自動壓片機

回收去離子水

另外配件：

氮氣外部壓力調(diào)節(jié)器

氮氣流量計

產(chǎn)品參數(shù)：