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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間:2024-05-17 10:26:46瀏覽次數(shù):2109
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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濕法顯影掩膜版清洗系統(tǒng)
手動型SCS112
SCS112型是一款高效率手動型的系統(tǒng),專門設(shè)計(jì)用于在劃片或劃片后清洗晶片。可通過施加高壓DI水射流或霧化噴嘴來清潔安裝在環(huán)(抓環(huán))或膠片框架上的晶圓,然后使用高轉(zhuǎn)速,氮?dú)廨o助或紅外加熱燈進(jìn)行快速干燥。該系統(tǒng)大可處理8英寸晶圓。
功能:
選項(xiàng):
產(chǎn)品參數(shù):
?
手動型SCSe124
SCSe124型是用于光掩模,晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非常可靠且具有成本效益,它經(jīng)過驗(yàn)證,擁有各種清潔技術(shù)。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng),包括高壓DI水,霧狀噴嘴,刷子,Megasonic噴嘴等等??焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水,氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe124具有微處理控制器,該控制器可調(diào)整過程參數(shù),并儲存多達(dá)10個(gè)程序。
功能:
產(chǎn)品參數(shù):
?
手動型SCSe126
SCSe126型是用于光掩模,晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非??煽壳揖哂谐杀拘б妫?jīng)過驗(yàn)證,擁有各種清潔技術(shù)。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng),包括高壓DI水,霧狀噴嘴,刷子,Megasonic噴嘴等等??焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水,氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe126具有微處理控制器,該控制器可調(diào)整過程參數(shù),并儲存多達(dá)10個(gè)程序。
功能:
• 徑向排氣腔,可實(shí)現(xiàn)大層流。
• 獨(dú)立式聚丙烯腔室。
• 微處理器可控制10個(gè)程序段。
• 內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
• 按鈕蓋啟動 打開/關(guān)閉。
• 觸摸屏圖形用戶界面(GUI),易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。
• 多可使用4個(gè)機(jī)械臂。
?產(chǎn)品參數(shù):