掃描狹縫光束分析儀

DataRay 的 Beam'R2 非常適合許多激光光束分析應(yīng)用。 Beam'R2 具有標(biāo)準(zhǔn)的 2.5 µm 狹縫和更大的刀口狹縫，能夠測(cè)量直徑小至 2 µm 的光束。 通過選擇Si和 InGaAs 或擴(kuò)展 InGaAs，Beam'R2 可以對(duì) 190 nm 至 2500 nm 的光束進(jìn)行輪廓分析。 掃描狹縫儀器提供比基于相機(jī)的系統(tǒng)高得多的分辨率。

DataRay 的 BeamMap2 代表了一種*不同的實(shí)時(shí)光束分析方法。 它允許沿光束行進(jìn)在多個(gè)位置進(jìn)行測(cè)量，從而擴(kuò)展了 Beam'R2 的測(cè)量能力。 這種實(shí)時(shí)狹縫掃描系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)圓盤上的多個(gè) z 平面中使用 XY 狹縫對(duì)，同時(shí)測(cè)量四個(gè)不同 軸向位置的光束輪廓。 BeamMap2 *的設(shè)計(jì)良好利于實(shí)時(shí)測(cè)量焦點(diǎn)位置、M²、光束發(fā)散和指向。

系統(tǒng)特點(diǎn)

? 符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的光束直徑測(cè)量

? 端口USB2.0供電

? 自動(dòng)增益功能

? 用于符合 ISO 11146 標(biāo)準(zhǔn)的 M² 測(cè)量的可選載物臺(tái)附件。

? True2D 狹縫

? 分辨率高達(dá) 0.1 µm

? 探測(cè)器選項(xiàng)，190 – 2500 nm

? 5 Hz 更新率（用戶可調(diào) 2-12 Hz）

? 測(cè)量高重復(fù)脈沖激光

? 脈沖最小 PRR = [500/(光束直徑，單位為 µm)] kHz

BeamMap2 增加了以下功能

? 多 z 平面掃描

? XYZ 截面，包括 θ-Φ

? 焦點(diǎn)位置和直徑

? 實(shí)時(shí) M²、指向和發(fā)散

? 使用 BeamMap2-Collimate 實(shí)時(shí)測(cè)量準(zhǔn)直光束的發(fā)散度

? 以 ±1 µm 的重復(fù)精度（取決于光束）識(shí)別焦點(diǎn)

? 可選的 LensPlate2 用于到達(dá)難以接近的束腰和重新成像波導(dǎo)

應(yīng)用

? 非常小的激光束輪廓測(cè)量

? 光學(xué)組裝和儀器校準(zhǔn)

? OEM 集成

? 鏡頭焦距測(cè)試

? 聚焦和校準(zhǔn)誤差的實(shí)時(shí)診斷

? 將多個(gè)組件實(shí)時(shí)設(shè)置為同一焦點(diǎn)

True2D 狹縫

? 藍(lán)寶石襯底上的 0.4 µm 厚度多層金屬膜

? 相對(duì)于氣隙的優(yōu)勢(shì)

? 避免隧道效應(yīng)

? 氣隙通常比寬度更深，并且在高輻照度下會(huì)彎曲