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電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)是納米級刻蝕機(jī)，非常適合納米技術(shù)和芯片的制造研發(fā)。
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)特點(diǎn)
*化設(shè)計(jì)和組件，以減少日常服務(wù)需求。
實(shí)現(xiàn)每年少于5%的機(jī)器故障停機(jī)時(shí)間。
提高性能,促進(jìn)批量生產(chǎn)。
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)規(guī)格參數(shù)
射束電壓范圍20kV-100kV
光膠上的特征尺寸<8nm
500um場的縫合/重疊誤差<25nm
自動(dòng)加載5卡盤氣鎖系統(tǒng)

電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)是納米級刻蝕機(jī)，非常適合納米技術(shù)和芯片的制造研發(fā)。
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*化設(shè)計(jì)和組件，以減少日常服務(wù)需求。
實(shí)現(xiàn)每年少于5%的機(jī)器故障停機(jī)時(shí)間。
提高性能,促進(jìn)批量生產(chǎn)。
電子束蝕刻機(jī),電子束光刻機(jī)規(guī)格參數(shù)
射束電壓范圍20kV-100kV
光膠上的特征尺寸<8nm
500um場的縫合/重疊誤差<25nm
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