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電子束-電阻熱蒸發(fā)復合鍍膜系統(tǒng)集合了電子束沉積鍍膜和電阻式熱蒸發(fā)鍍膜沉積功能。
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動快門的前門上的4“直徑觀察口
帶水冷坩堝的單/多槽電子束源（4cc至75cc）
帶X-Y掃描控制器的高壓電源（3kW至15kW）
匹配雙級旋轉葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字顯示和讀數(shù)的全量程真空計
兩個帶獨立百葉窗的電阻熱源
PLC控制系統(tǒng)
電子束-電阻熱蒸發(fā)復合鍍膜系統(tǒng)可選配項目
冷水機
具有樣本傳輸適應性的負載鎖定系統(tǒng)
多軸基板臺旋轉
石英燈加熱器（從300°C到800°C）
行星基臺
PC控制系統(tǒng)
水冷基板級
SQC 310膜厚監(jiān)測器和沉積控制器
電動快門組件
大容量坩堝及電源
干式渦旋泵
低溫泵送系統(tǒng)
冷陰極或熱陰極電離計
可調尺寸和高度，適用于基板平臺
用于未來升級的額外備用法蘭
帶數(shù)字讀數(shù)的質量流量控制器
射頻清洗能力
現(xiàn)場掩模變換器