型號:Wibon-2K
核心功能描述:
1)采用體視顯微系統(tǒng),綜合放大倍率為8.0-100倍;
2)超深景深,適合薄膜、厚膜、深腔(LTCC)三類鍵合絲缺陷掃描;
3)采用特種組合光源實現(xiàn)高亮環(huán)形及同軸光可切換照明;
4)快速掃描拼圖,掃描速度>30mm2/秒;
5)超長物鏡工作距離>50mm;
6)高品質(zhì)快速掃描成像系統(tǒng);
7) 自帶全功能缺陷掃描及分類軟件,同時支持長方形及半圓件檢測;
核心特點:
1、組合環(huán)形光照明,凸顯鍵合 細節(jié),保障精確檢測;
2、高速掃描拼圖及缺陷標(biāo)注系統(tǒng);
3、超長工作距離,實現(xiàn)薄膜、厚膜深腔(LTCC)各類器件缺陷掃描;
核心系統(tǒng)配置
用途
鍵合工藝掃描- 缺線、斷線、彎線、交叉絲
型號
Wibon-2K
工作臺
全自動掃描工作臺
行程:
110mm x 110mm
220mm x 220mm
反饋系統(tǒng)
線性反饋系統(tǒng)
解析率:
0.1um/1.0um可選
聚焦
電動聚焦系統(tǒng),快速鎖定焦平面,保障高效精確檢測
探測系統(tǒng)
特殊顯微組合設(shè)計
快速掃描成像系統(tǒng)
綜合放大倍率
8.0x~100x
超長工作距離
> 50mm
照明方式
組合環(huán)形光源及同軸光可切換照明
軟件系統(tǒng)
高性能鍵合掃描及分析算法軟件系統(tǒng)
檢查性能
高品質(zhì)自動抓圖及拼圖功能,確保無漏檢;(自動掃描誤檢率<5%,結(jié)合人工廻檢可確保無漏檢)
掃描速度
> 30mm2 / s
隔震系統(tǒng)
氣浮隔震系統(tǒng)
緊湊電氣操控
標(biāo)配外觀尺寸
長:1200mm 寬:800mm 高:1500mm
鍵合檢查原理說明
“四要素法”編程:
對于每一個產(chǎn)品序列的基板,在大量檢測前由工程師對標(biāo)準(zhǔn)板進行編程(Bonding MAP),編程的基本要素為
1、器件的中心位置;
2、鍵合起始點及允許誤差;
3、鍵合終點及允許誤差;
4、鍵合路徑,在檢測過程中會根據(jù)鍵合起點及終點誤差計算路徑允差;