核心功能描述:
實現(xiàn)快速弧高及臺階測量:綜合放大倍率8.0x—100x ,支持偏角觀察功能。
可測弧高臺階范圍1.0um — 20mm(一般弧高的高度不超過800um)
核心系統(tǒng)配置:
用途
1. 金線弧高測量
2. 金線偏角觀察
3. 臺階測量
型號
Wibon-50R
樣品臺
X平移、Y平移、R旋轉(zhuǎn),實現(xiàn)*360度觀察
聚焦
電動聚焦系統(tǒng),影像自動聚焦功能;Z軸線性反饋系統(tǒng),
解析率
:1.0um;
探測系統(tǒng)
特殊顯微組合設(shè)計;
綜合放大倍率
8.0x~100x;
帶偏角觀察功能
照明方式
環(huán)形/ 同軸照明可選
軟件系統(tǒng)
全功能圖像處理軟件系統(tǒng)
帶虛擬弧高算法功能
檢查性能
帶高品質(zhì)影像抓拍功能
重復性精度:
開環(huán)控制 3σ<5.0um
閉環(huán)控制 3σ<1.0um