SD-650MH 高真空磁控濺射儀報價
參考價 | ¥ 150000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 北京海富達科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SD-650MH
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/2/11 8:40:58
- 訪問次數(shù) 1551
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 化工 |
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高真空磁控濺射儀報價高真空磁控濺射儀報價(可噴鎂,鋁,金銀鉑) 型號:KM1-SD-650MH庫號:M403191
原理:
濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在
異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電
場的作用下,對陰極靶材表面進行轟
擊,把靶材表面的分子、原子、離子
及電子等濺射出來,被濺射出來的粒
子帶有一定的動能,沿一定的方向射
向基體表面,在基體表面形成鍍層。
濺射時產(chǎn)生的快電子在正交的電磁
場中作近似擺線運動,增加了電子行
程,提高了氣體的離化率,同時高能
量粒子與氣體碰撞后失去能量,基體
溫度較低,在不耐溫材料上可以完成
鍍膜。
用途:
KM1-SD-650MH 高真空磁控濺射鍍膜儀是袖珍型磁控濺射
設備,主要由濺射真空室、磁控濺射靶、樣品臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測
量及電控系統(tǒng)等部分組成。高真空濺射可用于金屬、半導體、絕緣體等多種薄膜材料的
制備,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點,可用于大專、科研
院所的薄膜材料研究、制備。
參數(shù):
儀器主機尺寸: 長 610mm×寬 420mm×高 220mm(注:含腔體總高 490mm)
工作腔室尺寸: 標配:玻璃腔體(高度可選):直徑 260mm×高 200mm(外尺寸)
直徑 240mm×高 200mm(內(nèi)尺寸)
選配:金屬腔體:直徑 260mm×高 270mm(外尺寸 )
直徑 210mm×高 270mm(內(nèi)尺寸)
靶頭: 標配:單靶
選配:雙靶(雙靶儀器主機尺寸和工作腔體尺寸會隨之增大)
靶材尺寸: 直徑 50mm×厚 3mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
靶材料: 標配一塊直徑 50mm×3mm 的銅靶(可選配多種靶材)
靶槍冷卻方式: 水冷
真空系統(tǒng): 抗沖擊渦輪分子泵,抽速為 300L/s
前級機械泵: 抽速為 4L/s,帶防返油電磁閥及油污過濾器
真空測量: 采用復合真空計監(jiān)測真空真空度: 5×10
-5Pa(10 分鐘可到 9×10
-4Pa)
電源: 標配:直流恒流電源:輸入電壓:220V
輸出電壓:0-600v
輸出電流:0-1.6A
選配:射頻功率電源:功率 1000W,配射頻匹配器。
載樣臺: 直徑 200mm,可根據(jù)客戶需求定制載樣臺。
工作氣體: Ar 等惰性氣體(需自備氣瓶及減壓閥)
氣路: 濺射真空度手動調(diào)整(可選配氣體質(zhì)量流量計)
水冷: 自循環(huán)冷卻水機
電源電壓: 220V 50Hz
啟動功率 3KW