MFC300 氣體流量控制器
參考價 | ¥ 4600 |
訂貨量 | ≥10只 |
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號 MFC300
- 產地 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導體智能制造創(chuàng)新港
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/2/25 13:23:03
- 訪問次數 49
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產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體 |
應用領域 | 環(huán)保,化工,生物產業(yè),制藥,電氣 |
氣體流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產品特點
超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應
高重復性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
主要參數
介質要求
潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. (1:500)
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
最大工作壓力 1.1 MPa(11bar)
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 0-65℃(環(huán)境和氣體)
溫度范圍 0 - 98%無凝露
氣路接頭類型 快插、快擰、卡套、VCR(可選)
氣體接觸材質 氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
密封材質 氟橡膠 FKM
防護等級 IP40
安裝方式 任意方向安裝
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.38kg