氣密性檢測是工業(yè)生產(chǎn)中保障產(chǎn)品質(zhì)量和安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，尤其在新能源汽車、醫(yī)療器械、航空航天等領(lǐng)域，微小的泄漏可能導(dǎo)致產(chǎn)品失效甚至安全事故。它直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量、性能以及安全性。從航空航天到汽車制造，從電子設(shè)備到醫(yī)療器械，幾乎所有涉及密閉空間或流體傳輸?shù)漠a(chǎn)品都離不開氣密性檢測。

隨著檢測需求向高精度、智能化方向演進(jìn)，直壓法、差壓式、流量法、氦質(zhì)譜檢漏法等主流技術(shù)呈現(xiàn)差異化發(fā)展格局。本文聚焦氣體質(zhì)量流量計（MFM）在檢漏領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用，解析其技術(shù)要求與行業(yè)價值。

一、主流氣密性檢漏技術(shù)對比

1. 直壓法檢漏

直壓法是一種較為基礎(chǔ)且直接的檢漏方法。它通過向被測物體充入一定壓力的氣體，然后監(jiān)測壓力的變化來判斷是否存在泄漏。檢測操作過程是這樣的：對工件的被測容腔在一定壓力條件下（具體壓力參數(shù)由生產(chǎn)線檢測工藝規(guī)程決定）進(jìn)行充氣、保持一定時間后，切斷被測工件和氣源氣路測漏儀壓力傳感器記錄下此時的壓力示值，經(jīng)過一定時間（數(shù)秒或數(shù)十秒、甚至更久）后，再次讀取壓力示值并和前次記錄的壓力示值進(jìn)行比較。若被測容腔有泄漏，則兩次壓力示值有一個差值。此差值大小反映工件在檢測時間周期內(nèi)的泄漏狀態(tài)，差值越大表示工件泄漏越嚴(yán)重。只要此差值在允許范圍內(nèi)，即可認(rèn)為被測工件合格。反之，為不合格。適用于中高泄漏率場景（如汽車油箱、家電殼體）。

2. 差壓式檢漏法

差壓型氣密儀的檢測操作過程和直壓型的差別主要是利用“標(biāo)準(zhǔn)品”作為參照物在相同的過程和狀態(tài)條件下，比較被測工件與“標(biāo)準(zhǔn)品”的差異來判斷被測工件是否合格。

其檢測過程如下：首先在氣密儀標(biāo)示的標(biāo)準(zhǔn)品端接上標(biāo)準(zhǔn)品（標(biāo)準(zhǔn)品可以是一個被用多種方法檢測合格并被確認(rèn)為可以作為衡量其他與之相同的被測工件標(biāo)準(zhǔn)的工件或特定制品），然后同時對標(biāo)準(zhǔn)品與被測工件容腔充氣（充氣壓力、時間等參數(shù)由工藝程確定），經(jīng)過一段數(shù)秒或數(shù)十秒的平衡時間后，將標(biāo)準(zhǔn)品與工件被測容腔隔斷進(jìn)行數(shù)秒或數(shù)十秒的壓力監(jiān)視后比較二者的壓力示值差，這個壓力差就是工件被測容腔的壓力泄漏值，若其值在允許范圍內(nèi)則認(rèn)為被測品合格，否則判為不合格。適合電池包等微小泄漏檢測，但對環(huán)境穩(wěn)定性要求苛刻.

3. 流量法檢漏（MFM330核心應(yīng)用場景）

流量式檢漏儀工作原理是向被檢工件內(nèi)不間歇充入一定壓力氣體，以質(zhì)量流量計感測充入工件氣體流量的變化，以此來判定工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內(nèi)。流量法的特點是測量信號與被測容積的大小無關(guān)，流量法檢漏是基于氣體流量變化來檢測泄漏,測量信號直接反映氣體泄漏量。流量法檢漏通常由正壓式和負(fù)壓式兩種。

正壓流量式在充氣時，若產(chǎn)品無泄漏，充滿后流量降為零；若有泄漏，儀器會持續(xù)檢測到氣體流量。

負(fù)壓流量式則是在抽負(fù)壓后，通過充入氣體的流量變化判斷泄漏情況。

若感測元件是差壓流量計則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質(zhì)量流量計則為質(zhì)量流量法，其檢漏儀為質(zhì)量流量檢漏儀。通常采用質(zhì)量流量法。對于泄漏速率小于 8.3 立方厘米/秒的零件，一般不采用這種檢測方法。

4. 氦質(zhì)譜檢漏法

在其他對泄漏檢測精度要求低于 0.001 立方厘米/秒的行業(yè)中，氦氣質(zhì)量光譜分析檢測方法被廣泛應(yīng)用。在氦氣質(zhì)量檢測方法中，被檢測設(shè)備用氦氣加壓，利用氦氣示蹤技術(shù)實現(xiàn)10?12 Pa·m3/s級超高靈敏度檢測，質(zhì)量流量由檢測室的質(zhì)量光譜采樣分析儀檢測出來。這種方法的設(shè)備成本、維護(hù)與氦氣成本昂貴、設(shè)備復(fù)雜，因此，該方法僅僅被典型地應(yīng)用在要求的設(shè)備的泄漏檢測中，如半導(dǎo)體、航天領(lǐng)域。

二、關(guān)鍵技術(shù)要求解析：

氣密性檢漏裝置的各種類型在不同的工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，而MFM氣體質(zhì)量流量計作為核心部件，為這些檢漏裝置的高效、準(zhǔn)確運(yùn)行提供了有力支持。以愛拓利MFM330系列氣體質(zhì)量流量計為例，其采用高精度熱式傳感器測量原理、搭載溫度和壓力補(bǔ)償，基于AI自動優(yōu)化補(bǔ)償算法，通過測量氣體流經(jīng)傳感器的質(zhì)量流量，直接反映被測件的泄漏量。相較于傳統(tǒng)壓力傳感器僅監(jiān)測壓力變化，MFM330能夠消除溫度、氣體種類等因素的干擾，提供更穩(wěn)定的檢測結(jié)果。其核心原理為熱擴(kuò)散式測量：氣體流經(jīng)加熱元件時帶走熱量，通過溫度差計算質(zhì)量流量。

1. 精度與分辨率：泄漏率檢測需達(dá)到0.1 SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）級別，MFM的精度需優(yōu)于±1% R.D，部分場景要求±0.5%，流量分辨率對檢測精度亦有重要意義，0.001sccm的分辨率將有利于及時發(fā)現(xiàn)流量變化。

2. 響應(yīng)時間：工業(yè)產(chǎn)線要求檢測周期≤10秒，MFM的響應(yīng)時間需≤1s，確保數(shù)據(jù)實時性。  

3. 環(huán)境適應(yīng)性: 溫度及壓力補(bǔ)償：需內(nèi)置溫度和壓力補(bǔ)償，消除-20~65℃環(huán)境波動和不同區(qū)域氣壓波動的影響。  

4. 校準(zhǔn)與維護(hù):定期零點校準(zhǔn)：防止傳感器漂移。  

5. 數(shù)據(jù)接口與智能化：除了傳統(tǒng)的模擬量通訊之外，集成RS485、EtherCAT等工業(yè)通訊協(xié)議，支持與PLC或上位機(jī)系統(tǒng)聯(lián)動，實現(xiàn)檢測數(shù)據(jù)追溯與分析。

三、典型應(yīng)用場景  

新能源汽車電池包檢測：電池包對氣密性要求嚴(yán)苛（泄漏率＜0.5 SCCM），MFM可快速識別殼體焊接或密封圈缺陷。  

醫(yī)療器械密封性測試：如注射器、呼吸面罩等，MFM的高分辨率（0.5% F.S.）確保微小泄漏不漏檢。  

電子元件防水檢測：手機(jī)、智能穿戴設(shè)備中，MFM快速高效同步檢測，提升效率。

四、結(jié)語  

MFM氣體質(zhì)量流量計在檢漏裝置中的成功應(yīng)用，標(biāo)志著氣密性檢測從“經(jīng)驗判斷”邁向“數(shù)據(jù)驅(qū)動”。未來，隨著傳感器技術(shù)與算法的持續(xù)升級，MFM將進(jìn)一步推動工業(yè)檢漏向高效、高精度、低成本方向發(fā)展，成為智能制造質(zhì)量控制體系的核心組件之一。MFM作為流量法檢漏的技術(shù)支點，正在精度、可靠性、智能化維度持續(xù)突破。愛拓利等本土品牌通過正向研發(fā)構(gòu)建核心技術(shù)壁壘，為3C電子、醫(yī)療器械、氫能儲運(yùn)等領(lǐng)域提供高性價比解決方案，推動中國制造向質(zhì)量強(qiáng)國邁進(jìn)。