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Lumina AS/P 金屬有機物化學氣相沉積設備

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

Lumina® 系統(tǒng)基于 Veeco 業(yè)界的金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) TurboDisc® 技術,在長時間的生產(chǎn)過程中,其具有均勻性和低缺陷率,帶來出色的產(chǎn)量和靈活性。此外,Veeco 的有技術也提供均勻的熱控制,可實現(xiàn)的厚度和組合均勻性。該系統(tǒng)提供無縫晶片尺寸過渡,能夠在直徑達 8 英寸的晶片上沉積高質量 As/P 外延層。Lumina 系統(tǒng)允許用戶自定義系統(tǒng)以實現(xiàn)大價值。

2.產(chǎn)品應用

VCSEL

3D 傳感

LiDAR

高速數(shù)據(jù)通信

邊緣發(fā)射激光器

先進的光學通信

硅光電

迷你和微型 LED

4K 和 8K 電視顯示屏

智能手機

可穿戴設備

AR/VR(增強現(xiàn)實/虛擬現(xiàn)實)



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