日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調(diào)節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800 特點(diǎn)介紹

●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞”的壓力調(diào)整器。

●組裝全部在0.3μm級(jí)1000的潔凈室進(jìn)行。

●在一次室的流路內(nèi)置過濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

●TORR-2800系列是用于大流量供給腐蝕性、液化氣體的調(diào)節(jié)器。

日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調(diào)節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800 規(guī)格參數(shù)

●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:壓力表:接頭:過濾器:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋子:調(diào)壓手柄:SUS3 16LNi-Cr-Mo合金SUS316L/Ni-Cr-Mo合金（SH系列）SUS316L、SUS316、氟樹脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316、氟樹脂（SH系列）C3604ABS樹脂、C360 4

●性能入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部研磨粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa1.0MPa1，000L/min（或）（P1=4.5MPa、P2=0.4MPa、N2氣體）-5～40°C6.7kg20μm/10μm（SH系列）Ra 0.25μm1/2"1.3 10-10Pa m3/sec以下