美國(guó)艾默生TESCOM半導(dǎo)體用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 12系列 特點(diǎn)介紹

采用技術(shù)的0EM氣體系統(tǒng)

用于的產(chǎn)品

·通過(guò)超高靈敏度的壓力調(diào)整來(lái)提高M(jìn)FC性能

強(qiáng)化

在廣泛的應(yīng)用中

性能

2sccm至120SLPM的流量

DROOP和可重復(fù)性

隔膜/主體為金屬硅

表面全部為10Ra或5Ra加工

美國(guó)艾默生TESCOM半導(dǎo)體用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 12系列 規(guī)格參數(shù)

以ANSI/ASME B31.3為基準(zhǔn)

入口莊力..............1.03MPa（10 kg/cm2）

出口壓力范圍:

20 in Hg-0.1MPa,0.01-0.21，0.02-0.41&0.02-0.69MPa

(20 in Hg-1 kg/cm2,.1-2,.2-4..2-7 kg/cm2)

設(shè)計(jì)耐壓................最大壓力的150%

設(shè)計(jì)耐破裂壓力......最大壓力的400%

認(rèn)證的最大內(nèi)部限制:

<1 X 10-9 atmcc/secHe

操作溫度....................-40%C~攝氏60度

(-40°F~140*F)

流量......................2sccm-120SLPM

流體接觸部材質(zhì)

機(jī)身.................無(wú)線316LVAR

隔膜................八固體

PCTFE

閥門(mén)桿.................斯泰勒斯316L

其他零件.................316

其他材質(zhì)也可以變更，請(qǐng)咨詢。

接続

集成模型..1.125”或1.50”英尺”林特

焊接頭.....1/4”VCR或1/4”片狀短管

重量

錄像機(jī)，IGS................0.27kg

A型................0.49kg

內(nèi)部容量......................1.53cc