AE RFG 5500 AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015
- 公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
- 型號 AE RFG 5500
- 產地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/11/22 17:27:40
- 訪問次數(shù) 576
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供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 3155051-015 |
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應用領域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
品牌 | AE | 型號 | RFG?5500 |
MN | 3155051-015 | PN | 27-115617-00 |
輸出功率 | 5000W | 頻率 | 13.56MHz |
狀態(tài) | Refurbished |
AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015, 5000W 13.56MHz, ASIS, available, in good condition, can ship. PN:27-115617-00; MN:3155051-015。
AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015是經(jīng)過長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,能夠實現(xiàn)對射頻輸出的精準控制,在半導體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現(xiàn)。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力,能夠實現(xiàn)對射頻輸出的精準控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力,成膜速度快,效率高,在半導體制程薄膜工藝中具有廣泛應用,能夠在一定程度上的提高產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設計,小巧便捷,能夠降低客戶的使用成本。
RFG 5500參數(shù)規(guī)格
設備品牌:AE (Advanced Energy)
設備型號:RFG 5500
AC 電源輸入:~208V,3 phase~,50/60Hz,10.0kW
RF 射頻輸出:13.56MHz,5000W
設備散熱:水冷散熱