AE RFG 3001 AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
- 型號 AE RFG 3001
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/6/2 15:35:54
- 訪問次數(shù) 1071
聯(lián)系方式：袁經(jīng)理19975057911 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
電源維修，二手電源設(shè)備銷售，直流電源，射頻電源，脈沖電源，自動(dòng)網(wǎng)絡(luò)匹配器，遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器，分子泵離子泵，干泵冷泵
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 3155089-005 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號 | RFG?3001 |
| M/N | 3155089-005 | P/N | 1914590 |
| 頻率 | 13.56MHz | 輸出功率 | 3KW |
| 設(shè)備狀態(tài) | Refurbished |
AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，在半導(dǎo)體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現(xiàn)。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用，能夠在一定程度上的提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設(shè)計(jì)，小巧便捷，能夠降低客戶的使用成本。
AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）
設(shè)備型號：RFG 3001
AC 電源輸入：3 phase~ ，~208V/PE，50/60Hz
RF 射頻輸出：13.56MHz，3000W，387V~
通訊接口：Control，CEX
設(shè)備散熱：水冷散熱
水冷進(jìn)水需求：MAX 進(jìn)水壓力 6.9Bar/690kPa
采購中心
化工儀器網(wǎng)