MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 是經過現場驗證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器，在實機驗證中體現出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優(yōu)秀表現。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質量好的優(yōu)點，在一定程度上能夠提升產線效率和成品良率，具有十分廣泛的應用。

MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 參數規(guī)格

設備品牌：MKS                                                                                                      

設備型號：53-S30-64

AC 電源輸入：3 phase~ ，380/400 VAC ±10%，16A，50/60Hz

RF 射頻輸出：63.87MHz，18KW Pulsed，540Watts，50Ω

通訊接口：Remote，RS-232C

設備散熱：風冷散熱