MKS RD5060Z MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W
- 公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
- 品牌
- 型號 MKS RD5060Z
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/6/3 12:00:12
- 訪問次數(shù) 570
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供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | RD5060Z-01 |
---|---|---|---|
應用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
品牌 | MKS | 型號 | RD5060Z |
P/N | RD5060Z-01 | 射頻 | 60MHz |
輸出功率 | 2000W | 設備狀態(tài) | Refurbished |
MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器,在實機驗證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制,廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中,且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力,在半導體薄膜工藝中,具有成膜速度快,效率高,質(zhì)量好的優(yōu)點,在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率,具有十分廣泛的應用。
MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格
設備品牌:MKS
設備型號:RD5060Z
AC 電源輸入:3 phase~ ,480V,15A
RF 射頻輸出:DUAL 2.0KW,60MHz
通訊接口:CEX In/Out,Profibus,EtherNet,Sync In/Out,Reserved,RS-232C
設備散熱:水冷散熱
設備重量:445kg,98lbs
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