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MKS RD5060Z MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W

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      神州科技是中國地區(qū)半導體產(chǎn)線電源系統(tǒng)服務廠商,位于江蘇省揚州市維揚開發(fā)區(qū),現(xiàn)有員工300人,工程師230人,模擬測試線20條,已建成完整全面的高精度,高功率:直流、射頻、微波、網(wǎng)絡匹配器、遠程等離子發(fā)生器 等綜合測試平臺,是國家火炬計劃項目《等離子電源研發(fā),應用平臺建設》承接單位。公司業(yè)務遍及亞洲,于日本、新加坡、韓國分設辦事處。

      神州科技為芯片產(chǎn)線,光伏產(chǎn)線,液晶面板制造產(chǎn)線,工業(yè)玻璃鍍膜產(chǎn)線,LED新光源產(chǎn)線,以及醫(yī)療、科研真空,各類高科技產(chǎn)業(yè)等離子系統(tǒng)提供電源系統(tǒng)的維修,備件支持,設備租憑服務。神州團隊嚴謹創(chuàng)新,高效熱誠,服務世界半導體產(chǎn)業(yè)。








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供貨周期 現(xiàn)貨 貨號 RD5060Z-01
應用領(lǐng)域 電子,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
品牌 MKS 型號 RD5060Z
P/N RD5060Z-01 射頻 60MHz
輸出功率 2000W 設備狀態(tài) Refurbished

MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器,在實機驗證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制,廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中,且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力,在半導體薄膜工藝中,具有成膜速度快,效率高,質(zhì)量好的優(yōu)點,在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率,具有十分廣泛的應用。

MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設備品牌:MKS

設備型號:RD5060Z

AC 電源輸入:3 phase~ ,480V,15A

RF 射頻輸出:DUAL 2.0KW,60MHz

通訊接口:CEX In/Out,Profibus,EtherNet,Sync In/Out,Reserved,RS-232C

設備散熱:水冷散熱

設備重量:445kg,98lbs

 



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