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SE200BM,SE300BM和SE500BM 光譜橢偏儀帶自動監(jiān)測

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 SE200BM,SE300BM和SE500BM
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/5/17 9:13:07
  • 訪問次數(shù) 1124

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實驗設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實驗室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子

光譜橢偏儀帶自動監(jiān)測

橢圓偏振光譜(SE)是一種成熟的光學(xué)技術(shù),用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料,薄膜,涂層,表面層和嵌入層。對于常規(guī)和晶圓廠加工質(zhì)量控制,必須有一個自動盒式裝卸機(jī)。為此,我們開發(fā)了一種低成本解決方案,可將晶圓尺寸從2“擴(kuò)展到8”(臺式),將塔式尺寸擴(kuò)展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方,從而為整個盒式磁帶測量定義配方。

 

應(yīng)用范圍:

半導(dǎo)體制造(PR,氧化物,氮化物..

液晶顯示器(ITOPR,液晶盒間隙…..

光學(xué)涂料,TiO2SiO2,Ta2O5..

半導(dǎo)體化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

非晶,納米和晶體硅

光伏薄膜,CdTe,CdSCIGS,AZOCZTS .....

 

特征:

水平樣品放置

價格合理,成本低廉,設(shè)計緊湊

易于與基于Windows的軟件一起使用;高級用戶的科學(xué)模式,日常操作員模式

可變?nèi)肷浣?,用戶可定義分辨率

全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和模型配方

*TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表,色散或EMA混合物/復(fù)合材料的層以及索引等級以及表面/界面粗糙度...

可通過各種選件和附件進(jìn)行升級和重新配置

晶圓厚度:200µm1mm(弓形<1.5mm,無翹曲)

前載紙盒

帶有傳感器的高速電梯

包括盒式磁帶映射器(檢測空插槽和交叉開槽的晶圓)

包含臺載傳感器

包含用于平板或槽口的預(yù)對準(zhǔn)器

EMO緊急關(guān)機(jī)開關(guān)

中心觸點末端執(zhí)行器與橢圓偏振儀工具上的晶片支架匹配

兼容潔凈室

易于使用的可調(diào)節(jié)水平腳,并牢固橋接至橢圓儀框架

緊湊的設(shè)計,所有電子設(shè)備內(nèi)置在裝載機(jī)中

通用電源輸入

通過USB與計算機(jī)通信,與Ellipsometer共享一臺計算機(jī)和顯示器

升級的TFProbe SW具有集成的晶圓處理功能,易于操作

特殊設(shè)計的帶有真空吸盤的新型晶圓支架,可將晶圓固定在適當(dāng)位置

 

系統(tǒng)配置:

根據(jù)不同的應(yīng)用,光譜橢偏儀可以配置SE200BM,SE300BMSE500BM或其他型號。

 

總重量:300

尺寸:60英寸(長)x 35英寸(長)x 35英寸(高)

電源:通用輸入100-240 VAC,6A,50-60 H

真空源:小70 kPa21 Hg),帶有1/4英寸的供氣管



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