紅外光譜橢偏儀IRSE

型號：TFProbe IRSE

橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學(xué)技術(shù)，用于表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入式層。實(shí)現(xiàn)這種技術(shù)的波長范圍取決于應(yīng)用。紅外（IR）波長范圍備受關(guān)注，因?yàn)椴牧媳憩F(xiàn)出的結(jié)果與在紫外線（UV）和可見光波長范圍內(nèi)觀察到的結(jié)果有很大不同。例如，大多數(shù)非摻雜半導(dǎo)體都是透明的；電介質(zhì)特征吸收鍵；金屬或摻雜的半導(dǎo)體表現(xiàn)出Drude吸收尾等。因此，紅外光譜橢圓儀（IRSE）可以表征材料的結(jié)構(gòu)（厚度，界面，表面粗糙度，污染），光學(xué)（光學(xué)常數(shù)），電（導(dǎo)電性）以及化學(xué)信息。

應(yīng)用案例：

1）零裝材料：玻璃，PET，摻雜硅

2）硅外延層：

•摻雜輪廓

•薄外延層（<1 um）

•低對比度N / N外延層

3）半導(dǎo)體外延層（GaAs，Insb，SiC，SiGe，CdHgTe等）

4）介電膜表征

5）應(yīng)用于FPD的硅層

6）監(jiān)測a-Si：H工藝質(zhì)量（CVD，ELA工藝）

7）SiN層中Si-H和N：H的相對含量

8）ITO膜：光學(xué)和電學(xué)表征

9）BPSG，PSG：硼和磷的濃度

10）低k材料：

•有機(jī)低k材料：

確定厚度和光學(xué)常數(shù)；

計(jì)算碳含量（％C）；

確定退火前后的水含量；

•SiOC：H：碳含量和孔隙率

•多孔SiO 2：厚度，孔隙率，水含量

11）溝槽，過孔，凹槽和淺溝槽隔離（STI） 

12）SOI光波導(dǎo)：厚度測量

特征：

• 價(jià)格合理，成本低廉，設(shè)計(jì)緊湊
• 可與Windows的軟件一起使用，高級用戶的科學(xué)模式，日常操作的操作員模式
• 可變?nèi)肷浣?/span>
• 用戶定義的分辨率
• 基于FTIR技術(shù)的快速測量
• 全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和模型配方
• *TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表，色散或EMA混合物/復(fù)合材料的層以及索引等級以及表面/界面粗糙度...
• 可通過各種選件和附件進(jìn)行升級和重新配置
• 邁克爾遜干涉儀具有連續(xù)動(dòng)態(tài)對準(zhǔn)功能，可長期保持穩(wěn)定
• 使用壽命長的紅外光源?

?

系統(tǒng)配置：

•光源：使用壽命長的Polaris™紅外光源

•光譜儀：

邁克爾遜干涉儀雙端口輸出

Ge on KBr分光鏡

高精度HeNe參考激光器

可變光圈光圈

BaF2涂層KBr窗口

•可變?nèi)肷浣牵?/span>5度間隔20 – 90度

•角度更改模式：手動(dòng)，帶預(yù)設(shè)插槽

•偏光光學(xué)元件：電動(dòng)?xùn)鸥窦t外偏光片

•檢測器：帶有KBr窗口的TE冷卻DLaTGS檢測器

•載物臺：高精度Z載物臺，可傾斜

•樣品盤：直徑200mm，水平放置

•通訊：USB 2.0

•電腦：Intel i5處理器，8GB內(nèi)存和500GB帶有鍵盤和鼠標(biāo)的硬盤

•顯示器：22英寸液晶顯示器

•軟件：TFProbe 3.3