中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(以下簡稱 “公司”)創(chuàng)建于1958年,公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區(qū),占地面積110畝,建筑面積3.5萬平方米。多年來,公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展,是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產(chǎn)基地,先后組建“國家分子束外延技術(shù)開發(fā)實驗基地”、“國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國家工程研究中心” 等科研平臺。
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