場(chǎng)發(fā)射分熱場(chǎng)和冷場(chǎng)，共性是分辨率高。熱場(chǎng)的束流大些，適合進(jìn)行分析，但維護(hù)成本相對(duì)較高，維護(hù)要求高。冷場(chǎng)做表面形貌觀測(cè)是適合的，相對(duì)而言維護(hù)成本低些，維護(hù)要求不算高。冷場(chǎng)發(fā)射電子槍優(yōu)點(diǎn)：?jiǎn)紊院?，分辨率高缺點(diǎn)：電子槍束流不穩(wěn)定，束流小，不適合做能譜分析，每天要做一次Flash熱場(chǎng)發(fā)射電子槍優(yōu)點(diǎn)：電子束穩(wěn)定，束流大缺點(diǎn)：與冷場(chǎng)相比除了單色性和分辨率略差點(diǎn)外，其它找不出缺點(diǎn)。熱場(chǎng)在總發(fā)射電流（Total emission current）、zui大探針電流（Maximum probe current）、電子束噪聲（Beam noise）、發(fā)射電流漂移（Emission current drift）、工作真空（Operating vacuum）、陰極還原（Cathode regeneration）、對(duì)外部影響的敏感性（Sensitivity to external influence）等方面都具有一等的優(yōu)勢(shì)。這些參數(shù)直接影響電鏡的性能。在陰極半徑（Cathode radius）、有效電子源半徑（Effective source radius）、發(fā)射電流密度（Emission current density）、標(biāo)準(zhǔn)亮度（Normalised brightness）等方面，冷場(chǎng)發(fā)射略勝*。這幾個(gè)參數(shù)總起來說就是冷場(chǎng)發(fā)射陰極的發(fā)射面積較小、能量集中，便于將電子束聚焦于一個(gè)很小的點(diǎn)，以提高分辨率。但是在現(xiàn)代的電鏡技術(shù)條件下，熱場(chǎng)發(fā)射電鏡通過采取各種有效措施，也能夠?qū)㈦娮邮鴧R聚于一個(gè)理想的點(diǎn)，達(dá)到冷場(chǎng)發(fā)射電鏡的分辨率水平。熱場(chǎng)發(fā)射電鏡主要的一個(gè)缺點(diǎn)是燈絲（陰極）壽命較短，給定壽命2000小時(shí)，實(shí)際可用3年左右。而冷場(chǎng)發(fā)射陰極壽命相對(duì)較長(zhǎng)，且更換費(fèi)用較低。