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自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號：TP-TPY-2
產(chǎn)品點：
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有度、靈敏度以及自動控制等點。光源采用氦氖激光器，率穩(wěn)定波長度。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件能齊，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
規(guī)格與主要標：
測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10
測量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°度≤0.05°
度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180°
測量膜厚和折射率重復性度分別為：0.5nm和0.005
儀器測量度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
光學中心度：80mm
成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機）
主機重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
裝箱單
| 序號 | 名 稱 | 規(guī)格或型號 | 數(shù)量 | 備 注 |
| 1 | 自動橢圓偏振測厚儀主機 | TP-TPY-2 | 1臺 | |
| 2 | 主機電控箱 | TP-TPY-2 | 1臺 | |
| 3 | Q9連接線 | | 1根 | |
| 4 | 數(shù)據(jù)連接線 | | 1根 | |
| 5 | 電源線 | | 2根 | |
| 6 | 15線連接電纜 | | 1根 | |
| 7 | USB連接電纜 | | 1根 | |
| 8 | 二氧化硅膜樣片 | | 1張 | |
| ９ | 軟件安裝盤 | TP-TPY-2 | 1張 | |
| 10 | 使用說明書 | TP-TPY-2 | 1份 | |
| 11 | 裝箱單 | TP-TPY-2 | 1份 | |
| 12 | 產(chǎn)品合格證 | TP-TPY-2 | 1份 | |
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北京恒奧德儀器儀表有限公司
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