技術(shù)參數(shù):
數(shù)值孔徑是物鏡性能的重要指標(biāo),決定了顯微鏡的分辨率。NA值越大,分辨率越高,但視場寬度和工作距離會相應(yīng)減小。
分辨率是顯微鏡能夠區(qū)分兩個相鄰點(diǎn)的能力,通常由NA和照明波長決定。
放大率:放大率由物鏡和目鏡的放大倍數(shù)決定,總放大倍率為物鏡放大倍數(shù)與目鏡放大倍數(shù)的乘積。
焦深是指在顯微鏡中,當(dāng)焦點(diǎn)對準(zhǔn)某一物體時,上下一定厚度內(nèi)能清晰看到的范圍。焦深與NA成反比,NA越大,焦深越淺。
工作距離是指物鏡前端到工件表面的距離。數(shù)值孔徑越大,工作距離越短。
等焦點(diǎn)距離是指物鏡安裝位置到工件表面的距離,用于實(shí)現(xiàn)最佳聚焦。
按測量原理分類:光學(xué)顯微鏡:利用可見光成像,適用于觀察細(xì)胞、組織等生物樣品。電子顯微鏡:利用電子束成像,適用于納米級材料和科學(xué)領(lǐng)域的高分辨率測量。激光掃描共聚焦顯微鏡(LSM) :結(jié)合光學(xué)顯微鏡和激光掃描技術(shù),提供三維成像能力。
按用途分類:
工業(yè)顯微鏡:用于工業(yè)檢測和質(zhì)量控制。
數(shù)碼顯微鏡:通過攝像頭采集圖像,適合制造業(yè)和科研領(lǐng)域。
金相顯微鏡:用于觀察金屬表面結(jié)構(gòu)和微觀缺陷。
三維測量顯微鏡:結(jié)合光學(xué)顯微鏡和先進(jìn)測量技術(shù),適用于精密測量。
按結(jié)構(gòu)分類:
倒置顯微鏡:適用于培養(yǎng)皿中的細(xì)胞觀察。
正立顯微鏡:適用于固定樣品的觀察。
萬能工具顯微鏡:結(jié)合光柵測量原理,實(shí)現(xiàn)自動記數(shù)和測量。
按測量功能分類
長度測量顯微鏡:用于測量線性尺寸。
角度測量顯微鏡:用于測量角度。
表面粗糙度測量顯微鏡:用于測量表面粗糙度。
應(yīng)用領(lǐng)域:
測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域。例如:在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,用于觀察細(xì)胞結(jié)構(gòu)和組織切片。在材料科學(xué)領(lǐng)域,用于分析材料表面和微觀結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體工業(yè)中,用于檢測芯片上的微小缺陷。
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