RTS-7型二探針測試儀應(yīng)用

專用于測試半導(dǎo)體材料縱向電阻率的儀器，統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)并生成縱向分布圖。    

電阻率測量范圍：0.00001～100000Ω·cm。    

此二探針測試儀主機(jī)的設(shè)計可以同時實(shí)現(xiàn)四探針測試方法，一機(jī)雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機(jī)同時實(shí)現(xiàn)二探針和四探針測試方法。    

    RTS-7型二探針測試儀是運(yùn)用二探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備，該儀器按照國家標(biāo)準(zhǔn)及美國材料與試驗(yàn)協(xié)會（ASTM）SEMI MF397-1106（二探針法測定硅棒電阻率的標(biāo)準(zhǔn)方法）推薦的材料驗(yàn)收檢測方法“兩探針法”，專用于測試半導(dǎo)體材料縱向電阻率的儀器。
    儀器由主機(jī)、測試臺、二探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
     此二探針測試儀主機(jī)的設(shè)計可以同時實(shí)現(xiàn)四探針測試方法，一機(jī)雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機(jī)同時實(shí)現(xiàn)二探針和四探針測試方法。
    儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
       

    RTS-7型二探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。    

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技　術(shù)　指　標(biāo) ：    

 測量范圍

    電阻率：0.00001～100000Ω.cm；    

恒流源

    電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)    

數(shù)字電壓表

    量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；    

二探針探頭基本指標(biāo)

    間距：1.59mm（可按用戶測試需求選配其它間距二探針探頭）；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
 機(jī)械游移率：≤0.2%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.86mm；
 探針壓力：3±1N/單針；    

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

     0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字    

二探針測試架
（選配）

    配置T-2A測試架，兩端電極直徑20mm，最大長度300mm。
 配置T-2B測試架，兩端電極直徑50mm，最大長度300mm。
 (備注：其它尺寸測試架 可按用戶測試需求更改尺寸)。    

四探針測試臺和四探針探頭
（選配）

   此二探針測試儀主機(jī)的設(shè)計可以同時實(shí)現(xiàn)四探針測試方法，一機(jī)雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機(jī)同時實(shí)現(xiàn)二探針和四探針測試方法。    

測試模式

    可連接電腦測試也可不連接電腦測試    

軟件功能
（選配）

   軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化。并將測試數(shù)據(jù)生成縱向分布圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。    

計算機(jī)通訊接口

    并口    

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

    溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射；