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如何選擇紫外臭氧清洗機?

來源:邁可諾技術有限公司   2024年12月31日 17:15  

 

如何選擇紫外臭氧清洗機?

今天的主角是我們的一款簡易的紫外臭氧清洗機。

來自其他制造商的紫外臭氧清潔機可以提供一系列附加功能。更多的功能常常會被誤認為是更有效的性能。但是,在您的實驗設置中評估附加功能的必要性和適用性總是很重要的。我們這款紫外臭氧清潔機本著簡單高效的理念構建,提供了一個有效工作的模型,沒有不必要的、復雜的或令人困惑的特性。

 

1.加熱功能

超過150°C,材料的溫度越高,紫外臭氧清洗的反應速度越快。因此,提高襯底的溫度可以促進更快的清洗速率。為此,一些系統(tǒng)將加熱的樣品臺集成到紫外臭氧清洗機中。


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加熱的優(yōu)勢當用戶試圖從表面去除厚的污染層,例如殘留的光刻膠時,加熱是重要的,加熱階段的溫度可高達150攝氏度,有時甚至更高

不足之處

加熱樣品臺的集成可能會帶來一些挑戰(zhàn):

加熱的樣品臺很容易導致燈的溫度超過最佳溫度窗口。這減少了燈的壽命和光輸出。

設計一個在加熱樣品的同時能保持最佳燈溫的系統(tǒng)是很昂貴的。它需要使用石英窗來實現(xiàn)物理隔離和燈的主動冷卻。

提高溫度會增加臭氧分解的速率以及目標反應速率。

需要加熱的舞臺嗎?

在紫外臭氧系統(tǒng)中增加加熱元件可能不值得額外花費。如果您只需要去除材料的薄單層,或者只對表面改性感興趣,在這種情況下,我們的系統(tǒng)是理想的選擇。

如果要去除較厚的材料層,加熱元件可能是確保合理清潔時間的必要條件。

 

2.臭氧中和器

紫外臭氧清洗機可以安裝內(nèi)置過濾器。在空氣從系統(tǒng)中抽出并排入實驗室之前,臭氧被過濾器吸收。

優(yōu)勢

在清潔過程中會產(chǎn)生大量的臭氧,即使是少量的臭氧也會對使用者造成危害。內(nèi)置過濾增加了用戶的安全性,因為臭氧不需要使用外部設備排出。

不足之處

隨著系統(tǒng)過濾功能的增加,有責任進行更多的定期維護,以保持安全標準。必須更換過濾器,并定期檢查密封件的完整性。臭氧會嚴重損壞用于形成氣密密封的墊圈,增加維護成本。當進行維護時,它也增加了系統(tǒng)的停機時間。

需要集成過濾嗎?

如果是放在通風櫥內(nèi)使用的話,就不需要了。抽氣或再循環(huán)通風都可以提供所需的臭氧防護。

 

3.氣體入口

給樣品室增加一個氣體入口可以讓你從外部源給樣品室增加氧氣。市場上可買到的一些紫外線臭氧清潔器具有為此目的設計的入口,允許用戶將氧氣源直接連接到系統(tǒng)。

優(yōu)勢

隨著腔室中存在更多的氧氣,來自燈的紫外光被吸收的可能性增加。這增加了用于形成臭氧和與樣品表面上的有機材料反應的氧自由基的量。這提高了清潔率。

不足之處

空氣中氧氣含量的增加會顯著增加所用材料的易燃性,以及潛在火災的風險。即使少量氧氣的增加也能改變通常易燃材料的行為。在富氧環(huán)境中工作會增加風險,這意味著必須格外小心。

允許輸入氧氣的紫外線臭氧清潔器必須符合更嚴格的設計規(guī)定。確保系統(tǒng)在爆炸性環(huán)境中安全運行的設計的復雜性會導致更昂貴的系統(tǒng)。

需要進氣口嗎?

雖然增加氧氣水平可以提高系統(tǒng)的清潔率,但您必須能夠安全地操作它。這需要一個可以處理高氧環(huán)境和實驗的裝置。此外,在這些條件下,您計劃進行的實驗必須是安全的。

高含氧環(huán)境的風險有時可能會超過更高的清潔率帶來的好處。因此,更簡單、更安全的操作系統(tǒng),如我們的紫外線臭氧清潔器,可能更適合沒有配備高氧環(huán)境的實驗室設置。

 

4.距離

樣品表面的光強度對清潔率有影響。由此,通常認為減少光和樣品之間的距離會增加光的強度。為了實現(xiàn)這一理論,一些紫外線臭氧清潔器具有可調節(jié)的樣品托盤。

然而,這種理論的前提是光源點光源(類似于單個燈泡)。點光源的強度將隨r2下降,并且光在所有方向上均勻地發(fā)出。對于大多數(shù)紫外臭氧清洗機,光是由一系列的燈或一個網(wǎng)格燈產(chǎn)生的,它可以看作是一個平面光源。雖然平面光源的強度有所下降,但沒有點光源下降的那么多。所以隨著樣品和燈之間的距離增加,測量到的光強度下降的幅度是很小的。因此,距離的調整對樣品表面的強度幾乎沒有影響。

減小距離會導致樣品表面的均勻性顯著降低。我們在紫外臭氧清洗機中實施了固定距離,該清潔經(jīng)過優(yōu)化以提供最大的均勻性,同時在關鍵波長保持高強度。

該如何選擇紫外臭氧清洗機呢?

選擇紫外臭氧清洗機時,必須考慮您的實驗室設置的具體要求和您要清潔的材料的性質。加熱樣品臺、臭氧中和器、氣體入口和可調樣品距離等功能提供了潛在的優(yōu)勢,但也帶來了自身的挑戰(zhàn)和缺點。

我們的紫外臭氧清潔器優(yōu)先考慮簡單性和效率,確保有效清潔,而沒有與額外的、通常不必要的功能相關的復雜性和成本。最終,選擇應遵循所需清潔效率與設備在特定實驗環(huán)境中的實用性、安全性和成本效益之間的平衡。

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