風(fēng)淋室在現(xiàn)今而言，半導(dǎo)體工業(yè)愈來愈興盛情況下，其清凈室（cleanroom）的設(shè)計也就很重要，但是

在目前能源危機(jī)的陰影下，其　cleanroom　的能源效率在設(shè)計時是很重要的考慮因素，


所以在以下的報告中，將提出一些有關(guān)這方面的探討。  


　達(dá)到設(shè)計及管理 Cleanroom 的能源效率的方法約有 :  


1．將風(fēng)管靜壓減至zui小-使用zui小的風(fēng)扇馬達(dá)。
2．用空氣干燥的除濕機(jī)以代替鹵水供給至盤管-作濕度控制。
3．設(shè)定調(diào)溫器及風(fēng)扇循環(huán)時間。
4．
5．正確互動地控制定序的指令及其它可達(dá)到正確尺寸和操作cleanroom之設(shè)備。  


　除了這些方法之外，風(fēng)淋室其日常的保養(yǎng)工作也是很重要的包含 :  


（1）須時常更換前置過濾器  
（2）須適時的更換 HEPA filter 來節(jié)省風(fēng)扇運轉(zhuǎn)費用  
（3）冷卻水塔和其它適合操作的狀況  
　　這些也可使 cleanroom 的能源效率維持在*化。  


　　以上所有這些方法，都是為了節(jié)省 cleanroom 能源使用的總數(shù)。變頻控制除了應(yīng)用在馬達(dá)啟

動外，zui主要能被應(yīng)用到排氣風(fēng)扇，外氣風(fēng)扇，控制*的 transducers 經(jīng)由易變的入口體積以達(dá)

到保持cleanroom 穩(wěn)定的壓力。  


　　很多 cleanroom 的設(shè)計在建物容積及排除的總熱條件下，相當(dāng)于大型的商業(yè)建筑物，也就是

說一個20 樓的辦公大樓的操作，被濃縮成一樓的cleanroom ，但是所排除的總熱是相當(dāng)?shù)摹?nbsp; 


　　cleanroom　工業(yè)必須依顧主不同的需求，可以有各種能源效率的設(shè)計，且可根據(jù)事前計算，

以設(shè)計cleanroom　的清凈度。事實上，大部份較大的清凈室的典型設(shè)計一是用一冰水機(jī)裝置

來排除自風(fēng)扇馬力的機(jī)械熱負(fù)荷。  


　　在省能的空調(diào)中，工程師能夠設(shè)計現(xiàn)代化的工程， 一大規(guī)模的辦公大樓不必為了能源法規(guī)來用

這些設(shè)備，而是為了滿足大型工業(yè)委托設(shè)計的能源效率。  


　　對箱型氣冷冰水主機(jī)而言， 包括一些螺旋式壓縮機(jī)、卸載、復(fù)合式卸載的往復(fù)式壓縮機(jī)和復(fù)合

式單速或雙速的密封型壓縮機(jī)，很少是離心設(shè)備的，其主要原因是價格。 顧主都希望用較少的錢去

買個冰水機(jī)并附有電子式控制， 可用復(fù)式的冷凝器風(fēng)扇來使整個循環(huán)適當(dāng)?shù)木S持壓力頭。  


　　有效能源的　cleanroom　可采用吸收式冰水機(jī)，利用天然瓦斯來產(chǎn)生冰水，且配合電的操作

來混合產(chǎn)生冰水，吸收式冰水機(jī)系統(tǒng)，本身用電量極少， 只有循環(huán)水泵、冷凍抽水機(jī)、冰水泵須用

電，能源缺乏的情形下，cleanroom 若想省能可以用吸收式冰水機(jī)。  


　　還有一種則是使用儲冰系統(tǒng)，可以利用離峰時段用電在此期間冷卻循環(huán)做儲冰（儲存大量的冰塊

），在利用尖峰時段，將儲存的冰塊溶化產(chǎn)生冰水， 再送至 cleanroom 區(qū)間去冷卻，這種方式也可

達(dá)到有效能源的cleanroom，用儲冰的方式不只可省電，且經(jīng)?？稍试S較小的機(jī)械系統(tǒng)的安裝。