手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
用于氣相分解的VPDBOX的技術(shù)參數(shù)
VPD BOX特點
●該設(shè)備利用氫氟酸自然汽化，在氣相狀態(tài)下分解硅片上的氧化膜和氮化膜，使硅片表面疏水化。
●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。
●請與半自動收集裝置SC系列配合使用。
規(guī)格參數(shù)
| 裝置名 | VPDBOX-200-1M | VPDBOX-300-1M |
| 最大處理張數(shù) | 1 件 | 1 件 |
| 外形(W×D×H)(mm)(※1) | 290×290×250 | 390×390×250 |
| 重量 | 6公斤 | 8公斤 |
| 使用場所 | 干凈的草案里面 | 干凈的草案里面 |
| 外部資源 | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） |
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心