多點(diǎn)無(wú)線溫濕度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)-實(shí)時(shí)無(wú)線溫度濕度記錄儀

引言

芯片制造車(chē)間，又稱(chēng)半導(dǎo)體潔凈室，是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的核心場(chǎng)所。在這個(gè)高度潔凈的環(huán)境中，各種生產(chǎn)設(shè)備、材料和工藝流程共同完成芯片從設(shè)計(jì)到成品的制造。車(chē)間的潔凈度、溫濕度等因素直接影響著芯片的質(zhì)量和性能。本文將重點(diǎn)探討芯片制造車(chē)間溫濕度對(duì)芯片制造的影響及其控制技術(shù)。

溫濕度對(duì)芯片制造的影響機(jī)制

1、溫度影響：溫度對(duì)芯片制造過(guò)程中的氧化、薄膜沉積、離子注入等工藝具有顯著影響。溫度過(guò)高或過(guò)低都會(huì)導(dǎo)致芯片制造過(guò)程中的雜質(zhì)擴(kuò)散和薄膜厚度分布不均，從而影響芯片的性能。

2、濕度影響：濕度對(duì)芯片制造過(guò)程中的氧化膜和薄膜材料的穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。高濕度會(huì)導(dǎo)致氧化膜吸水膨脹，降低其絕緣性能；低濕度會(huì)導(dǎo)致灰塵和顆粒物易于吸附在芯片表面，影響潔凈度。

產(chǎn)品設(shè)計(jì)

298 zigBee 實(shí)時(shí)無(wú)線溫度濕度記錄儀是一款實(shí)時(shí)無(wú)線溫濕度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)；您可以根據(jù)需要進(jìn)行靈活配置，通過(guò)網(wǎng)關(guān)進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸。

您需要選擇合適的實(shí)時(shí)無(wú)線溫度濕度記錄儀。智測(cè)電子提供多種類(lèi)型的監(jiān)測(cè)探頭和傳感器，還可幫助您從容應(yīng)對(duì)各種特殊應(yīng)用。

實(shí)時(shí)無(wú)線溫度濕度記錄儀是利用Zigbee技術(shù)無(wú)線組網(wǎng)的溫濕度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，采用組網(wǎng)方式多點(diǎn)監(jiān)測(cè)被測(cè)環(huán)境里的溫濕度分布情況，并利用無(wú)線網(wǎng)關(guān)進(jìn)行數(shù)據(jù)導(dǎo)出分析，實(shí)時(shí)繪制溫度曲線，直觀的監(jiān)測(cè)環(huán)境實(shí)時(shí)溫濕度變化。

實(shí)時(shí)無(wú)線溫度濕度記錄儀會(huì)將測(cè)量值通過(guò)網(wǎng)關(guān)上傳數(shù)據(jù)，并進(jìn)行存儲(chǔ)和記錄。您可以網(wǎng)頁(yè)式監(jiān)測(cè)軟件訪問(wèn)。一旦出現(xiàn)超限值，系統(tǒng)會(huì)通過(guò)電子郵件向您發(fā)送警報(bào)。

實(shí)時(shí)無(wú)線溫度濕度記錄儀自動(dòng)監(jiān)測(cè)溫度變化，您無(wú)需手動(dòng)進(jìn)行周期性的溫度記錄，ZUI大值、最小值和平均值的分析，所有的測(cè)量數(shù)據(jù)將通過(guò)無(wú)線網(wǎng)關(guān)自動(dòng)數(shù)據(jù)導(dǎo)出，并自動(dòng)存檔。

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