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引線框架是半導體封裝的基礎材料,是集成電路的芯片載體,借助于鍵合焊絲(金絲、鋁絲、銅絲)實現(xiàn)芯片內(nèi)部電路引出端與外引線的電氣連接,形成電氣回路的關鍵結(jié)構(gòu)件,起到和外部導線連接的橋梁作用。
引線框架在生產(chǎn)環(huán)節(jié),需要對電鍍液的成分含量進行測定,這既是為了保證電鍍質(zhì)量達到工藝要求,也是為了合理使用電鍍用的貴金屬,控制生產(chǎn)成本。因此,電鍍液的快速準確檢測,對提高生產(chǎn)效率和降低成本至關重要。
作為X射線分析儀器生產(chǎn)廠家,賽默飛世爾科技的ARL QUANT'X X射線熒光光譜儀,不僅在硬件配置上性能優(yōu)異,而且對于“引線框架電鍍液成分檢測”的要求,開發(fā)了有針對性的解決方案,并在引線框架行業(yè)的頭部企業(yè)中得到了應用和認可。針對不同客戶的電鍍液配方,ARL QUANT'X X射線熒光光譜儀能夠生成相應的分析檢測方案。在空氣分析環(huán)境中,它可以在短時間內(nèi)(通常10-30秒)快速分析出電鍍液中貴金屬元素的含量,且檢測結(jié)果準確穩(wěn)定,可以克服鍍缸中隨時加入藥劑引起的基體波動,滿足半導體引線框架行業(yè)的高標準分析需求。
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X 射線系統(tǒng)
X 光管采用先進的端窗發(fā)射管,最大限度地提高了X-射線的發(fā)射強度(相較側(cè)窗發(fā)射提高10% 的強度)
高壓電源采用數(shù)字控制系統(tǒng),僅在采譜時激發(fā)光管(不采譜則不激發(fā)),從而有效提高X-光管的使用壽命,并保證了分析數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定(相較持續(xù)激發(fā)光管的方式,可延長X-光管使用壽命4-6 倍)
探測器系統(tǒng)
優(yōu)異的分辨率不僅提高了對于輕元素的檢測能力,而且降低了元素譜線重疊對檢測造成的干擾(Mn、Ka 分辨率優(yōu)于 140eV)
6 級電制冷技術可以使探測器快速進入穩(wěn)定狀態(tài)(開機后2 分鐘即可執(zhí)行測樣),并且能夠保持探測器晶體的溫度穩(wěn)定,確保了探測的長期穩(wěn)定性
超大面積的晶體活性尺寸(>30mm2)確保了元素分析范圍的寬度,超出常規(guī)的晶體厚度 (1mm)使得針對痕量重元素的探測具有優(yōu)異的靈敏度
采用先進的全數(shù)字脈沖處理器技術,大幅度提高信號采集效率,有效降低本底噪聲,提高痕量元素的檢出能力
10 位和20位的自動進樣器可批量分析標準的液體樣,減少人工操作,提省檢測效率。支持樣液體品杯、粉末壓片、氣溶膠和濾膜
定量分析功能
采用UniQuant 無標樣分析技術,在少標樣和完全無標樣的情況下,仍然可以出色完成對于復雜多樣類型樣品的定量分析
應用案例展示
使用賽默飛最新型號的ARL QUANT'X EDXRF,在空氣條件下即可建立各種電鍍液的分析方法。
優(yōu)異的曲線線性度
Ni、Au、高濃度Ag、低濃度Ag和Pd元素的工作曲線情況如下
良好的結(jié)果一致性
從生產(chǎn)線隨機取不同時間段的Ni、Au、高濃度Ag、低濃度Ag和Pd電鍍液,分別在ICP和QUANT'X上進行測試。得到表1~5中的結(jié)果對比表。結(jié)果顯示EDXRF測試值和ICP測試值一致性非常好。
穩(wěn)定的檢測重復性
表6~10為Ni、Au、Ag、Pd電鍍液的穩(wěn)定性測試結(jié)果表。結(jié)果顯示EDXRF測試各種電鍍液的穩(wěn)定性極佳。
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