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掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品，通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用，來(lái)激發(fā)各種物理信息，對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。
掃描電鏡低壓束流極大增強(qiáng)，分辨率提高，寬泛低真空范圍利于觀察更多類型的不導(dǎo)電的樣品，特別是操作系統(tǒng)的自動(dòng)化速度和準(zhǔn)確性，簡(jiǎn)單3步即可完成，不僅提高作業(yè)速度，而且方便初學(xué)者操作。
主要特點(diǎn)：
1、低電壓低真空表現(xiàn)優(yōu)異，可觀察不良導(dǎo)體的表面形貌和細(xì)節(jié)信息.
1、自動(dòng)化功能速度快，自動(dòng)準(zhǔn)確度高，適合高吞吐量工作和電鏡操作基礎(chǔ)薄弱者操作。
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、生物醫(yī)學(xué)
2、食品衛(wèi)生
3、電子半導(dǎo)體
4、汽車制造
5、新能源
真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡，則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。
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