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鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學等領域都有廣泛的用途。
工作原理：
通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經(jīng)探測器收集、放大器放大后，調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。
與其他陰極相比，鎢陰極電子槍的優(yōu)點有：
1.對真空度的要求不是很高，它可以在相對較低的真空度（<10Pa）下工作，電子光學和真空系統(tǒng)結構都較簡單，整體造價較低。
2.總發(fā)射電流和束斑都比較大，且相對穩(wěn)定，其抗震和抗干擾能力較強，特別適合作電鏡的電子源。
3.結構簡單，加工容易，維持費用較低，維護和保養(yǎng)也較簡單、易行。
與其他陰極相比，鎢燈絲的不足之處是：
1.總發(fā)射束流雖大，但束流密度小，發(fā)射效率低，信噪比較差，比較難滿足拍攝超高分辨圖像的需要。
2.化學穩(wěn)定性也較差，容易與空氣中的水分發(fā)生作用，產(chǎn)生所謂的“水循環(huán)”，而壽命短。
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