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耶拿等離子體質(zhì)譜儀主要用于液體試樣（包括經(jīng)化學(xué)處理能轉(zhuǎn)變成溶液的固體試樣）中金屬元素和部分非金屬元素的定量分析。使用霧化器將樣品溶液泵入進口系統(tǒng)，形成微小的樣品氣溶膠。
樣品氣溶膠的一部分在等離子體被離子化，通過雙錐將樣品離子從等離子體提取至含有四極桿質(zhì)量過濾器的真空系統(tǒng)中。
通過離子光學(xué)系統(tǒng)將不同質(zhì)荷比的離子輸送到質(zhì)量分析器中。質(zhì)量分析器選擇特定質(zhì)荷比的離子，然后通過電子倍增器對特定質(zhì)荷比的離子計數(shù)。將特定元素的離子得到的CPS值與校正曲線進行比較，計算出樣品元素的濃度。
耶拿等離子體質(zhì)譜儀的組成條件：
由ICP焰炬，接口裝置和質(zhì)譜儀三部分組成；若使其具有好的工作狀態(tài)，必須設(shè)置各部分的工作條件。
工作條件：主要包括ICP功率，載氣、輔助氣和冷卻氣流量。樣品提升量等。
接口裝置工作條件：ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進入質(zhì)譜儀，接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度，也即采樣錐孔與焰炬的距離，要調(diào)整兩個錐孔的距離和對中，同時要調(diào)整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。
質(zhì)譜儀工作條件：主要是設(shè)置掃描的范圍。為了減少空氣中成分的干擾，一般要避免采集N2、O2、Ar等離子。進行定量分析時，質(zhì)譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質(zhì)量，同時還要有合適的倍增器電壓。
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