電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）經(jīng)過三十余年的發(fā)展，其性能得到了大幅的改善，靈敏度和穩(wěn)定性也有所提升。隨著激光刻蝕（LA）、高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜（GC）為代表的多種ICP-MS聯(lián)用技術(shù)及形態(tài)分析的快速發(fā)展，ICP-MS的應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴展，并廣泛應(yīng)用于能源、地質(zhì)、材料、環(huán)保、生物醫(yī)學、食品等諸多領(lǐng)域。相對來說，ICP-MS聯(lián)用技術(shù)發(fā)展較為成熟，其分析方法也實現(xiàn)了標準化并得到推廣和普及。

激光剝蝕-電感耦合等離子體質(zhì)譜聯(lián)用（LA-ICP-MS）

LA-ICP-MS被認為是直接分析固體樣品吸引人的技術(shù)，該方法更大的優(yōu)勢在于可以對樣品進行逐層分析和微區(qū)分析，同時得到材料中主量、次量和痕量元素的信息，空間分辨率和靈敏度高、取樣量少、分析速度快，對樣品的性質(zhì)要求不高，可以應(yīng)用于工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的質(zhì)量監(jiān)控。

該法主要是利用高能量的激光將樣品表面熔融、濺射和蒸發(fā)后，產(chǎn)生的蒸汽和細微顆粒被載氣直接帶入等離子體吸熱、解離并電離，在經(jīng)過質(zhì)譜系統(tǒng)過濾并檢測待測元素。隨著儀器技術(shù)的不斷改進與發(fā)展，對該方法的研究十分活躍，已成功應(yīng)用于冶金分析領(lǐng)域，在沒有標樣的情況下，能快速、準確對鋼樣進行半定量分析。與此同時，LA-ICP-MS在地質(zhì)學上元素形態(tài)分析研究以及在材料科學領(lǐng)域中元素分布分析的報道也越來越多。

液相色譜-電感耦合等離子體質(zhì)譜聯(lián)用（LC-ICP-MS）

根據(jù)液相色譜（LC）的保留時間的差別反映元素的不同形態(tài)，ICP-MS作為LC的檢測器，跟蹤待測元素各種形態(tài)的變化，使色譜圖變得簡單，可進行元素形態(tài)的定性和定量分析。此聯(lián)用技術(shù)的特點是：①檢測限低，測定范圍廣；②較少的分離步驟和較快的分離程序，使元素形態(tài)較少改變而被直接檢測；③封閉系統(tǒng)不受污染干擾，提高了分離效率。

氣相色譜-電感耦合等離子體質(zhì)譜聯(lián)用（GC-ICP-MS）

在ICP-MS分析中，樣品元素注入儀器瞬間就原子和離子化，得不到有關(guān)元素化學形態(tài)的信息。氣相色譜（GC）具有分辨率高、分離速度快和效率高等優(yōu)點，與ICP-MS聯(lián)用在一定程度上解決了ICP-MS進行形態(tài)分析時的困難。

GC-ICP-MS直接將氣態(tài)分析物倒入ICP-MS，避免了使用霧化器，從GC到ICP-MS的樣品傳輸率接近99%，可得到非常低的檢出限和良好的回收率，由于分析物已經(jīng)處于氣態(tài)，在進入ICP-MS前不需要去溶劑和氣化，水和有機溶劑在進入等離子體前被物理地分離，減少了等離子體的負載量，可以實現(xiàn)更有效的電離。GC中沒有液態(tài)流動相，可以產(chǎn)生更少的同量異位素干擾。GC-ICP-MS在生物、臨床樣品、環(huán)境樣品及汽油分析中已有較多文獻報道。

單四極桿ICP-MS為市場主流 聯(lián)用技術(shù)或成趨勢

且近些年，國家方法標準開始從AAS法向ICP-MS法轉(zhuǎn)變，轉(zhuǎn)變后也幾乎都是單四極桿ICP-MS的方法。市場中約90%的ICP-MS應(yīng)用，單四極桿就能夠滿足，可以說，單四極桿ICP-MS是目前市場的主流。

除此之外，微量、痕量進樣也會是未來ICP-MS的發(fā)展方向之一。