EJA特點(diǎn)·單晶硅諧振式傳感器·采用微電子機(jī)械加工*（MEMS）·傳感器直接輸出頻率信號，簡化與數(shù)字系統(tǒng)的接口·高精度，一般為0.065%·高穩(wěn)定性和高可靠性·連續(xù)10萬次過壓試驗(yàn)后量≤0.03%/16MPa·連續(xù)工作五年不需調(diào)校零點(diǎn)·BRAIN/HART/FF/PROFIBUS 現(xiàn)場總線四種通訊協(xié)議·完善的自診斷及遠(yuǎn)程設(shè)定通訊功能·可無需三閥組而直接安裝使用·基本品的接液膜片材質(zhì)為：哈氏合金C-276·外部零點(diǎn)/量程調(diào)校

工作原理由單晶硅諧振式傳感器上的兩個(gè)H形的振動梁分別將差壓、壓力信號轉(zhuǎn)換為頻率信號，送到脈沖計(jì)數(shù)器，再將兩頻率之差直接傳遞到CPU（微處理器）進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為與輸入信號相對應(yīng)的4~20mADC的輸出信號，并在模擬信號上疊加一個(gè)BRAIN/HART數(shù)字信號進(jìn)行通信。膜盒組件中內(nèi)置的特性修正存貯器存貯傳感器的環(huán)境溫度、靜壓及輸入/輸出特性修正數(shù)據(jù)，經(jīng)CPU運(yùn)算，可使變送器獲得優(yōu)良的溫度特性和靜壓特性及輸入/輸出特性。

結(jié)構(gòu)原理為單晶硅諧振傳感器的核心部分，即在一單晶硅芯片上采用微電子機(jī)械加工技術(shù)（MEMS），分別在其表面的中心和邊緣作成兩個(gè)形狀、大小*一致的H形狀的諧振梁，且處于微型真空腔中，使其既不與充灌液接觸，又確保振動時(shí)不受空氣阻尼的。??