陶瓷電容式薄膜真空計與電阻計熱偶計有什么不同

薄膜真空計是迄今為止得到*的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器，也是我國推薦采用的具有法定計量校準(zhǔn)檢定規(guī)程的一種真空度計量器具（校準(zhǔn)參照規(guī)程：Q/WHJ46-1998標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計校準(zhǔn)規(guī)程）

（本公司的薄膜真空計產(chǎn)品小量程為：0.001~10Pa、寬量程為0.01Pa~100kPa，新型結(jié)構(gòu)，復(fù)合式雙電容薄膜真空規(guī)）

注意了，此處與學(xué)生版的文章絕對不一致，以此為準(zhǔn)
電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無關(guān)，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。

而我們常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的熱傳導(dǎo)型的真空測量方法，簡單一點來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類真空計的測量精度、測量穩(wěn)定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數(shù)量級（誤差大于30%，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是±50%？），尤其是在低真空段，誤差更大。使用過電阻計、熱偶計的度知道，測量前還需要零點、滿度校正一下，不然誤差還會更大。另外，不同成分的氣體其熱傳導(dǎo)系數(shù)是不一樣的，這種工況時，電阻計、熱偶計測量值會增加變化±20-50%。

所以，要使用熱偶計、電阻計準(zhǔn)確測量真空度是很難的。

不過，它確實也有它的優(yōu)點的：制造容易、價格低廉，還普遍使用著。用過的都領(lǐng)教過它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因為老外的這個價位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機(jī)理的真空傳感器。所以選擇真空計、真空傳感器、首先要看測量技術(shù)的*性，而不是只看是不是進(jìn)口的、數(shù)字、智能，等等；測量機(jī)理陳舊，再怎么數(shù)字、怎么智能，也于事無補(bǔ)的。

現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，涉及的應(yīng)用范圍越來越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果，甚至于整個項目成功與否。

在精細(xì)化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。
許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開發(fā)之所以老是無法實現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果，往往就是因為真空測控儀表選型不當(dāng)、其實際的測量控制精度無法達(dá)到設(shè)計要求所造成的。

國外的薄膜真空計的其典型代表如MKS-626\627、英福康TCBG等等）。

  根據(jù)國內(nèi)設(shè)備的情況，新型薄膜真空計采用了兩種基本結(jié)構(gòu)：

1.薄膜真空規(guī)+智能儀表型、

2.真空壓力變送器（標(biāo)準(zhǔn)型號輸出）型。

采用專門設(shè)計的具有真空測控特點的精密二次儀器儀表，借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果，有利于提供測量的精度、分辨率、穩(wěn)定性和可靠性，增加智能化的自動控制功能，（可以配接任何一種模擬量、數(shù)字量的接口，比進(jìn)口的薄膜真空計更靈活、更方便）
實踐證明，具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計使用到（環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機(jī)、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機(jī)等設(shè)備，做真空測量和自動控制帶來極大地方便和性能提高，可以快速升級為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備。當(dāng)然，也可以用到科研實驗室、計量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級標(biāo)準(zhǔn)器，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上；



如果您在設(shè)備上已經(jīng)使用了進(jìn)口的品牌薄膜計，
不妨也用一用、試一試VR-208C-510系列薄膜真空計，（它的*性能可能會使你覺得買老外的有點冤。。。）；

如果您一直在使用電阻計、熱偶計、甚至古老的麥?zhǔn)险婵沼嫞?br />那么，相信我們的VR-208C-510系列新型薄膜真空計一定會給您的工作帶來改觀和驚喜。