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1200℃實(shí)驗(yàn)室滑軌爐管式爐

來(lái)源:鄭州宏朗儀器設(shè)備有限公司   2020年06月04日 19:02  

1200℃實(shí)驗(yàn)室滑軌爐管式爐功能特點(diǎn):
本套PECVD系統(tǒng)通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過(guò)多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇
產(chǎn)品用途:
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。
產(chǎn)品參數(shù)

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