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HORIBA STEC SEC-N100系列產(chǎn)品應(yīng)用

來(lái)源:上海首榮工業(yè)設(shè)備有限公司   2020年05月07日 14:16  

適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數(shù)字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能,減少客戶成本。

*1包括SEC-N177R

n目前的SEC-Z500X 系列產(chǎn)品主要使用于半導(dǎo)體制程, SEC-N100 作為它的重要補(bǔ)充,主要針對(duì)非芯片半導(dǎo)體制程而開(kāi)發(fā)。

 

n同半導(dǎo)體制程一樣,非芯片半導(dǎo)體工藝也已經(jīng)形成相對(duì)統(tǒng)一的制造標(biāo)準(zhǔn), SEC-N100 系列產(chǎn)品能夠滿足廣大客戶對(duì)不同制程規(guī)范的要求。

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